宽筛分流态化过程的强化与实验研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 符号说明 | 第9-11页 |
| 前言 | 第11-13页 |
| 1 综述 | 第13-31页 |
| 1.1 流态化多晶硅CVD原理 | 第13-14页 |
| 1.2 无定形硅粉成核机理 | 第14-16页 |
| 1.2.1 经典成核理论 | 第14-15页 |
| 1.2.2 基于聚合反应的成核机理 | 第15-16页 |
| 1.3 流态化基本理论 | 第16-21页 |
| 1.3.1 流态化 | 第16-17页 |
| 1.3.2 颗粒分类方法 | 第17页 |
| 1.3.3 流态化类型 | 第17-19页 |
| 1.3.4 气泡 | 第19-20页 |
| 1.3.5 压力脉动 | 第20-21页 |
| 1.4 流化床中流体力学特性的测量 | 第21-23页 |
| 1.4.1 压力和压差的测量 | 第22页 |
| 1.4.2 气泡行为的测量 | 第22-23页 |
| 1.4.3 颗粒浓度的测量 | 第23页 |
| 1.4.4 气体速度的测量 | 第23页 |
| 1.5 多晶硅流化床加热方式 | 第23-25页 |
| 1.5.1 外加热式流化床 | 第24页 |
| 1.5.2 内加热式流化床 | 第24页 |
| 1.5.3 加热区和反应区分开的流化床反应器 | 第24-25页 |
| 1.5.4 微波加热式流化床 | 第25页 |
| 1.6 改善颗粒流化质量的方法 | 第25-27页 |
| 1.6.1 超细颗粒流态化的研究 | 第25-27页 |
| 1.6.2 降低气泡方法的研究 | 第27页 |
| 1.7 流化床气体分布板 | 第27-28页 |
| 1.8 流化床内构件 | 第28-30页 |
| 1.8.1 挡板式内构件 | 第28-29页 |
| 1.8.2 垂直管束内构件 | 第29页 |
| 1.8.3 填料内构件 | 第29-30页 |
| 1.8.4 其它内构件 | 第30页 |
| 1.9 课题研究目的及研究内容 | 第30-31页 |
| 1.9.1 课题研究目的 | 第30页 |
| 1.9.2 课题研究内容 | 第30-31页 |
| 2 实验设备与方法 | 第31-44页 |
| 2.1 实验设备及测量系统 | 第31-38页 |
| 2.1.1 实验装置和系统简介 | 第31-32页 |
| 2.1.2 流化床床体 | 第32-34页 |
| 2.1.3 尾气处理装置 | 第34-35页 |
| 2.1.4 抽样系统 | 第35-36页 |
| 2.1.5 压力脉动采集系统 | 第36-38页 |
| 2.2 实验物料特性 | 第38-40页 |
| 2.3 实验气速的确定 | 第40页 |
| 2.3.1 最小流化速度的计算 | 第40页 |
| 2.3.2 终端速度的计算 | 第40页 |
| 2.3.3 操作气速的选择 | 第40页 |
| 2.4 实验参数的测量 | 第40-41页 |
| 2.5 实验步骤 | 第41-42页 |
| 2.6 本章小结 | 第42-44页 |
| 3 宽筛分颗粒对流态化过程的强化 | 第44-73页 |
| 3.1 流化床内宽筛分颗粒浓度分布 | 第44-53页 |
| 3.1.1 流化床内轴向固含量分布 | 第44-51页 |
| 3.1.2 流化床内局部颗粒浓度 | 第51-53页 |
| 3.2 流化床内宽筛分颗粒粒径分布 | 第53-55页 |
| 3.2.1 轴向分布 | 第54页 |
| 3.2.2 径向分布 | 第54-55页 |
| 3.3 流化床宽筛分颗粒床层空隙率 | 第55-57页 |
| 3.4 宽筛分流化床内气泡行为规律的研究 | 第57-71页 |
| 3.4.1 压力脉动信号的脉动幅值分析 | 第59-63页 |
| 3.4.2 压力脉动信号的功率谱分析 | 第63-70页 |
| 3.4.3 压力脉动信号的标准方差分析 | 第70-71页 |
| 3.5 本章小结 | 第71-73页 |
| 4 加热板内构件对宽筛分流态化过程的强化 | 第73-83页 |
| 4.1 加热板内构件对气泡行为影响规律的研究 | 第74-77页 |
| 4.1.1 压力脉动信号的脉动幅值分析 | 第74-75页 |
| 4.1.2 压力脉动信号的功率谱分析 | 第75-77页 |
| 4.1.3 压力脉动信号的标准方差分析 | 第77页 |
| 4.2 流化床内轴向固含量 | 第77-78页 |
| 4.3 流化床床层空隙率的研究 | 第78-80页 |
| 4.4 流化床床层压降的研究 | 第80-81页 |
| 4.5 本章小结 | 第81-83页 |
| 结论与展望 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
| 附录 | 第89-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第93-94页 |
