| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.2 课题背景及研究意义 | 第10-11页 |
| 1.3 大行程纳米定位技术研究现状及分析 | 第11-18页 |
| 1.3.1 单级驱动定位技术研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3.2 双级驱动定位技术研究现状 | 第13-17页 |
| 1.3.3 国内外研究现状分析 | 第17-18页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第18-19页 |
| 1.5 本章小结 | 第19-20页 |
| 第二章 全压电驱动的二维大行程纳米定位台方案设计 | 第20-33页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 大行程纳米定位平台系统总体方案设计 | 第20-29页 |
| 2.2.1 驱动源及其机理分析 | 第21-27页 |
| 2.2.2 导向机构 | 第27-28页 |
| 2.2.3 位移检测与反馈装置 | 第28-29页 |
| 2.3 全压电驱动定位控制原理 | 第29-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 压电马达驱动的定位平台系统建模及控制方法研究 | 第33-46页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 压电马达驱动的定位平台建模分析 | 第33-36页 |
| 3.2.1 压电马达驱动建模 | 第33-34页 |
| 3.2.2 压电马达驱动的定位平台运动学建模 | 第34-36页 |
| 3.3 压电马达驱动的定位平台控制方法研究 | 第36-45页 |
| 3.3.1 压电马达驱动器驱动模式分析 | 第36-39页 |
| 3.3.2 误差补偿控制方法 | 第39-41页 |
| 3.3.3 PID控制 | 第41-45页 |
| 3.4 小结 | 第45-46页 |
| 第四章 压电陶瓷驱动的微动平台设计与建模分析 | 第46-58页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 压电陶瓷致动器 | 第46-49页 |
| 4.3 二维微动平台结构设计与分析 | 第49-54页 |
| 4.3.1 微动定位平台的解析法分析 | 第50-52页 |
| 4.3.2 微动定位平台的有限元分析 | 第52-54页 |
| 4.4 压电陶瓷驱动的微定位平台建模分析 | 第54-57页 |
| 4.4.1 压电陶瓷的建模 | 第54-55页 |
| 4.4.2 微动定位平台的建模 | 第55-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 全压电驱动的定位平台实验研究 | 第58-69页 |
| 5.1 引言 | 第58页 |
| 5.2 压电马达驱动的定位平台实验系统搭建 | 第58-59页 |
| 5.3 压电马达驱动的定位平台调试 | 第59-60页 |
| 5.4 压电马达驱动的定位平台实验测试研究 | 第60-64页 |
| 5.4.1 扫描范围（定位行程）性能测试 | 第60-61页 |
| 5.4.2 AC驱动模式定位速度特性测试 | 第61-62页 |
| 5.4.3 DC扫描驱动模式定位特性测试 | 第62页 |
| 5.4.4 定位平台分辨率的测试 | 第62-63页 |
| 5.4.5 定位平台重复定位精度的测试 | 第63-64页 |
| 5.5 压电陶瓷驱动的微动定位平台实验测试研究 | 第64-68页 |
| 5.5.1 微动定位平台实验系统组成 | 第64-65页 |
| 5.5.2 微动定位平台实验测试 | 第65-68页 |
| 5.6 本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 6.1 总结 | 第69-70页 |
| 6.2 展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-77页 |
| 攻读硕士学位期间科研成果 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |