| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-10页 |
| 第1章 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 金属薄膜/聚酰亚胺组合体系 | 第11-12页 |
| 1.3 脉冲激光刻蚀的研究现状 | 第12-15页 |
| 1.4 激光刻蚀数值模拟方法 | 第15-16页 |
| 1.5 课题来源及创新点 | 第16页 |
| 1.5.1 课题来源 | 第16页 |
| 1.5.2 创新点 | 第16页 |
| 1.6 论文主要内容 | 第16-18页 |
| 第2章 激光加热与刻蚀基础理论 | 第18-29页 |
| 2.1 激光的吸收和反射 | 第19-23页 |
| 2.1.1 材料的吸收率和吸收系数 | 第19-20页 |
| 2.1.2 金属对激光的吸收及其影响因素 | 第20-23页 |
| 2.1.3 非金属对激光的吸收 | 第23页 |
| 2.2 激光对材料的加热 | 第23-28页 |
| 2.2.1 材料中热传递方式 | 第24-25页 |
| 2.2.2 热传导方程 | 第25-27页 |
| 2.2.3 边界条件和初始条件 | 第27-28页 |
| 2.3 相变问题 | 第28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 激光刻蚀建模与计算 | 第29-38页 |
| 3.1 有限元软件COMSOL Multiphysics简介 | 第29-30页 |
| 3.2 激光刻蚀仿真建模过程 | 第30-35页 |
| 3.2.1 物理场的选择 | 第30页 |
| 3.2.2 模型的建立 | 第30-32页 |
| 3.2.3 模型中相关参数的选择 | 第32页 |
| 3.2.4 边界条件的选择 | 第32-33页 |
| 3.2.5 相变的处理 | 第33-34页 |
| 3.2.6 网格剖分 | 第34-35页 |
| 3.3 重要的热物理属性 | 第35-37页 |
| 3.3.1 吸收率 | 第35页 |
| 3.3.2 热导率 | 第35-36页 |
| 3.3.3 比热容 | 第36-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 激光刻蚀模拟结果与分析 | 第38-49页 |
| 4.1 激光移动速度对刻蚀深度的影响 | 第38-44页 |
| 4.2 激光移动刻蚀过程温度场分析 | 第44-47页 |
| 4.3 激光刻蚀多层金属薄膜的温度场分布 | 第47-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 结论与展望 | 第49-51页 |
| 5.1 结论 | 第49-50页 |
| 5.2 展望 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 附录A 攻读硕士期间发表学术论文目录 | 第56-57页 |
| 附录B 液化气微推进系统流体力学仿真分析 | 第57-62页 |