| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第17-31页 |
| 1.1 表面织构的提出 | 第17-18页 |
| 1.2 表面织构的应用 | 第18-22页 |
| 1.2.1 表面织构在摩擦学中的应用 | 第18-20页 |
| 1.2.2 表面织构在热能交换中的应用 | 第20-21页 |
| 1.2.3 表面织构在生物医学的应用 | 第21-22页 |
| 1.3 表面织构加工技术发展现状 | 第22-29页 |
| 1.3.1 表面织构机械振动加工技术 | 第22-23页 |
| 1.3.2 表面织构激光加工技术 | 第23页 |
| 1.3.3 表面织构电火花加工技术 | 第23-24页 |
| 1.3.4 表面织构磨粒气射流加工技术 | 第24-25页 |
| 1.3.5 表面织构微细电解加工技术 | 第25-29页 |
| 1.4 课题来源及研究内容 | 第29-31页 |
| 1.4.1 课题来源与研究目的 | 第29-30页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第30-31页 |
| 第二章 光刻微细电解加工微坑阵列的缺陷及抑制方法探究 | 第31-51页 |
| 2.1 引言 | 第31页 |
| 2.2 光刻微细电解加工原理及特点 | 第31-32页 |
| 2.3 微坑阵列电解加工精度分析及其改善措施 | 第32-41页 |
| 2.3.1 微坑阵列电解加工精度分析 | 第32-35页 |
| 2.3.2 正电位辅助阳极提高微坑阵列电解加工精度 | 第35-40页 |
| 2.3.3 厚层模板提高微坑阵列电解加工精度 | 第40-41页 |
| 2.4 微坑“孤岛”现象分析及其消除措施 | 第41-50页 |
| 2.4.1 微坑―孤岛‖现象成因分析 | 第41-46页 |
| 2.4.2 ―孤岛‖现象消除措施 | 第46-49页 |
| 2.4.3 试验验证 | 第49-50页 |
| 2.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第三章 PDMS微孔模板制作工艺研究 | 第51-64页 |
| 3.1 引言 | 第51-52页 |
| 3.2 SU-8 胶阵列微柱体结构光刻工艺研究 | 第52-54页 |
| 3.2.1 基片材料选择与处理 | 第52-53页 |
| 3.2.2 匀胶与前烘 | 第53页 |
| 3.2.3 曝光与后烘 | 第53-54页 |
| 3.2.4 显影、漂洗与干燥 | 第54页 |
| 3.3 SU-8 胶光刻工艺改进研究 | 第54-57页 |
| 3.3.1 改进型光刻工艺流程 | 第54-55页 |
| 3.3.2 结果分析 | 第55-57页 |
| 3.4 真空辅助法制作PDMS阵列微孔模板工艺研究 | 第57-63页 |
| 3.4.1 真空辅助模塑法制作PDMS阵列微孔模板的工艺流程 | 第57-61页 |
| 3.4.2 结果分析 | 第61-63页 |
| 3.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 第四章 PDMS厚层模板微坑阵列电解加工试验研究 | 第64-94页 |
| 4.1 PDMS厚层模板微细电解加工系统 | 第64-66页 |
| 4.1.1 工作箱及电源系统 | 第64-65页 |
| 4.1.2 电解液循环系统 | 第65-66页 |
| 4.2 电解液流动模式优选 | 第66-76页 |
| 4.2.1 静液 | 第67-69页 |
| 4.2.2 电解液侧向流动 | 第69-72页 |
| 4.2.3 电解液正向流动 | 第72-76页 |
| 4.3 PDMS厚层模板电解加工试验研究 | 第76-83页 |
| 4.3.1 直流电解加工微坑阵列 | 第76-79页 |
| 4.3.2 脉冲电解加工微坑阵列 | 第79-83页 |
| 4.4 PDMS厚层模板微坑电解加工定域性及其机理研究 | 第83-93页 |
| 4.4.1 PDMS厚层模板微坑电解加工定域性分析 | 第83-86页 |
| 4.4.2 PDMS厚层模板高加工定域性机理分析 | 第86-93页 |
| 4.5 本章小结 | 第93-94页 |
| 第五章 微坑阵列电解加工试验及其应用 | 第94-111页 |
| 5.1 引言 | 第94页 |
| 5.2 齿轮泵密封端面微坑阵列电解加工 | 第94-97页 |
| 5.3 回转体表面的微坑阵列电解加工试验 | 第97-98页 |
| 5.4 钛合金微坑阵列电解加工试验研究 | 第98-104页 |
| 5.4.1 直流电解加工对微坑阵列质量的影响 | 第98-99页 |
| 5.4.2 脉冲电解加工对微坑阵列质量的影响 | 第99-104页 |
| 5.5 镀铬层微坑阵列电解加工与摩擦试验 | 第104-110页 |
| 5.5.1 微坑阵列电解加工试验 | 第105-107页 |
| 5.5.2 摩擦试验与结果分析 | 第107-110页 |
| 5.6 本章小结 | 第110-111页 |
| 第六章 总结与展望 | 第111-114页 |
| 6.1 论文研究内容总结 | 第111-112页 |
| 6.2 论文主要创新点 | 第112页 |
| 6.3 未来研究展望 | 第112-114页 |
| 参考文献 | 第114-126页 |
| 致谢 | 第126-128页 |
| 在学期间发表学术论文及研究成果 | 第128-129页 |
