| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| ·课题研究背景 | 第10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-18页 |
| ·SU-8 胶在非硅 MEMS 领域的应用现状 | 第10-13页 |
| ·厚胶光刻工艺研究现状 | 第13页 |
| ·整平工艺及设备研究现状 | 第13-17页 |
| ·存在的主要问题 | 第17-18页 |
| ·课题研究意义 | 第18页 |
| ·论文章节安排 | 第18-20页 |
| 第2章 厚胶整平加工特性及整平方法 | 第20-30页 |
| ·SU-8 胶材料特性 | 第20-21页 |
| ·厚胶表面问题 | 第21-23页 |
| ·厚胶整平需求分析及切削性能预测 | 第23-25页 |
| ·厚胶整平需求分析 | 第23-25页 |
| ·厚胶切削性能预测 | 第25页 |
| ·厚胶整平方法及加工难点分析 | 第25-28页 |
| ·厚胶整平方法 | 第25-27页 |
| ·厚胶加工误差预测及难点 | 第27-28页 |
| ·厚胶整平技术要求及整平设备系统性能要求 | 第28-29页 |
| ·厚胶整平技术要求 | 第28页 |
| ·厚胶整平设备总体性能要求 | 第28-29页 |
| ·本章总结 | 第29-30页 |
| 第3章 厚胶整平设备总体技术 | 第30-47页 |
| ·厚胶整平设备总体概述 | 第30-46页 |
| ·厚胶整平方法研究 | 第32-36页 |
| ·厚胶基片无损夹持技术 | 第36页 |
| ·厚胶整平设备的精度保证方案 | 第36-41页 |
| ·厚胶整平设备控制方案 | 第41-42页 |
| ·厚胶整平设备冷却、润滑系统方案 | 第42页 |
| ·厚胶整平设备的结构设计 | 第42-46页 |
| ·本章总结 | 第46-47页 |
| 第4章 厚胶整平设备关键结构优化设计 | 第47-61页 |
| ·真空吸附夹具技术及优化设计 | 第47-57页 |
| ·真空吸附夹具关键技术 | 第47-49页 |
| ·真空吸附夹具板孔优化设计 | 第49-53页 |
| ·真空吸附夹具的设计 | 第53-55页 |
| ·计算吸附响应时间T_(res)与最大吸入流量Q_(max) | 第55-57页 |
| ·刀盘结构优化设计与动态特性分析 | 第57-60页 |
| ·刀盘的接口设计 | 第57-59页 |
| ·刀盘组件模态分析 | 第59-60页 |
| ·本章总结 | 第60-61页 |
| 第5章 厚胶整平设备的动静态特性分析研究 | 第61-70页 |
| ·模态分析的理论基础 | 第61-62页 |
| ·厚胶整平设备结构模态分析 | 第62-67页 |
| ·厚胶整平设备有限元模型构建 | 第62-64页 |
| ·厚胶整平设备模态分析结果 | 第64-67页 |
| ·厚胶整平设备结构模型静力学分析 | 第67-68页 |
| ·本章总结 | 第68-70页 |
| 第6章 厚胶切削工艺及整平模拟实验研究 | 第70-86页 |
| ·飞刀铣削加工切削力建模 | 第70-76页 |
| ·飞刀铣削切削力模型 | 第70-74页 |
| ·厚胶切削力分析 | 第74-76页 |
| ·切削力对工艺系统影响 | 第76页 |
| ·厚胶整平加工运动轨迹及表面形貌 | 第76-78页 |
| ·刀尖相对运动轨迹 | 第76-77页 |
| ·切削表面形貌 | 第77-78页 |
| ·厚胶切削模拟实验研究 | 第78-84页 |
| ·实验目的 | 第78页 |
| ·实验方案 | 第78-80页 |
| ·实验数据分析 | 第80-83页 |
| ·厚胶的切削及切屑分析 | 第83-84页 |
| ·厚胶切削实验结论 | 第84页 |
| ·本章总结 | 第84-86页 |
| 第7章 总结与展望 | 第86-88页 |
| ·主要研究工作总结 | 第86-87页 |
| ·论文的主要创新点 | 第87页 |
| ·建议与展望 | 第87-88页 |
| 参考文献 | 第88-92页 |
| 附录 | 第92-94页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第94-95页 |
| 致谢 | 第95页 |