| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| ·课题来源 | 第10页 |
| ·选题依据及背景 | 第10-11页 |
| ·本课题的研究目的及意义 | 第11页 |
| ·表面形貌测量方法 | 第11-14页 |
| ·机械触针法 | 第11-12页 |
| ·扫描隧道显微镜 | 第12页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第12-13页 |
| ·干涉显微法 | 第13-14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-17页 |
| ·主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 波长轮换与相移扫描相结合的表面形貌干涉测量原理 | 第19-24页 |
| ·相移干涉测量基本原理 | 第19-21页 |
| ·多波长干涉测量原理 | 第21-23页 |
| ·双波长干涉测量 | 第22页 |
| ·多波长干涉测量 | 第22-23页 |
| ·波长轮换与相移扫描相结合的干涉测量原理 | 第23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 波长轮换与相移扫描相结合的干涉测量系统设计 | 第24-46页 |
| ·干涉测量系统概述 | 第24-25页 |
| ·波长轮换单元 | 第25-30页 |
| ·波长轮换方案设计 | 第25页 |
| ·白光光源的选取 | 第25-27页 |
| ·窄带滤光片的选取 | 第27-29页 |
| ·波长轮换的驱动机构 | 第29-30页 |
| ·相移驱动单元 | 第30-33页 |
| ·相移驱动装置 | 第31-32页 |
| ·相移驱动控制 | 第32-33页 |
| ·干涉显微结构 | 第33-36页 |
| ·干涉显微结构概述 | 第33-35页 |
| ·干涉显微结构分析 | 第35页 |
| ·Mirau型干涉显微结构设计 | 第35-36页 |
| ·图像采集单元 | 第36-41页 |
| ·图像采集模块 | 第36-37页 |
| ·图像采集控制 | 第37-38页 |
| ·图像采集软件设计 | 第38-41页 |
| ·干涉图像采集系统的控制和调试 | 第41-45页 |
| ·波长轮换、相移扫描和图像采集的同步控制 | 第41-43页 |
| ·干涉系统调试和图像采集 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 实验数据处理与分析 | 第46-60页 |
| ·相移驱动步长计算 | 第46-52页 |
| ·提高干涉方程组拟合精度的方法 | 第47-49页 |
| ·椭圆拟合算法 | 第49-50页 |
| ·驱动步长分析 | 第50-52页 |
| ·干涉相位提取 | 第52-56页 |
| ·相位提取算法概述 | 第52-53页 |
| ·构造满足四步法的干涉图像 | 第53-55页 |
| ·初始相位计算 | 第55-56页 |
| ·表面形貌计算 | 第56-58页 |
| ·多波长相位识别算法 | 第56-57页 |
| ·表面形貌评定参数计算 | 第57-58页 |
| ·测量误差分析 | 第58-59页 |
| ·测量误差计算 | 第58页 |
| ·误差来源分析 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 总结与展望 | 第60-62页 |
| ·全文总结 | 第60-61页 |
| ·全文展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第6页 |