| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 图表索引 | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-32页 |
| ·研究的目的和意义 | 第13-14页 |
| ·红外焦平面的研究现状 | 第14-18页 |
| ·微小光学器件的研究现状 | 第18-24页 |
| ·矩形孔径微透镜阵列与集成技术水平 | 第24-27页 |
| ·论文主要研究内容、关键技术及技术指标 | 第27-29页 |
| 参考文献 | 第29-32页 |
| 第二章 球面折射微透镜阵列的光学特性与设计 | 第32-59页 |
| ·球面微透镜阵列近轴光线传播理论 | 第32-36页 |
| ·单层球面微透镜阵列的光学成像特性 | 第36-40页 |
| ·双层球面微透镜阵列的光学成像特性 | 第40-43页 |
| ·单层球面微透镜阵列的光照度 | 第43-45页 |
| ·双层球面微透镜阵列的光照度 | 第45-48页 |
| ·微透镜阵列的光能利用率 | 第48-49页 |
| ·微透镜阵列的设计 | 第49-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 第三章 变剂量曝光制作矩形孔径球面微透镜原理 | 第59-74页 |
| ·激光直写变剂量曝光的工艺原理 | 第59-60页 |
| ·激光束功率空间分布的数学模型 | 第60-62页 |
| ·LDW500/400复合坐标激光直写系统结构与原理 | 第62-70页 |
| ·矩形孔径球面微透镜阵列面型函数 | 第70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-74页 |
| 第四章 矩形孔径球面微透镜阵列制作工艺 | 第74-97页 |
| ·基片预处理与表面改性 | 第74-75页 |
| ·光致抗烛剂的性质与涂布 | 第75-78页 |
| ·前供 | 第78-79页 |
| ·曝光与显影 | 第79-82页 |
| ·后供 | 第82-83页 |
| ·图形转移 | 第83-88页 |
| ·微透镜阵列结构参数与性能测试 | 第88-94页 |
| ·本章小结 | 第94-95页 |
| 参考文献 | 第95-97页 |
| 第五章 红外焦平面中集成矩形孔径球面微透镜阵列的研究 | 第97-128页 |
| ·集成效应分析 | 第97-99页 |
| ·集成原理 | 第99-100页 |
| ·集成应用的光学理论分析 | 第100-104页 |
| ·红外焦平面与矩形孔径微透镜阵列的集成实验 | 第104-117页 |
| ·红外焦平面阵列性能测试 | 第117-125页 |
| ·本章小结 | 第125-127页 |
| 参考文献 | 第127-128页 |
| 第六章 结论与展望 | 第128-131页 |
| ·论文主要完成工作及创新点 | 第128-129页 |
| ·进一步研究与展望 | 第129-131页 |
| 致谢 | 第131-132页 |
| 在攻读博士学位期间发表的学术论文和参与科研工作 | 第132页 |