双波长光纤干涉台阶高度在线测量研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 中文摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 1 引言 | 第10-15页 |
| ·课题研究背景和意义 | 第10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-15页 |
| ·探针扫描测量 | 第11页 |
| ·非光学扫描显微镜 | 第11-12页 |
| ·光学共焦测量 | 第12页 |
| ·光学干涉测量 | 第12-13页 |
| ·现有测量技术优缺点 | 第13-15页 |
| 2 测量系统理论基础 | 第15-27页 |
| ·光纤迈克尔逊干涉仪 | 第15-17页 |
| ·测量原理 | 第15-16页 |
| ·该测量技术的优势与劣势 | 第16-17页 |
| ·自动控制理论概述 | 第17-20页 |
| ·概述 | 第17页 |
| ·反馈及反馈控制 | 第17-18页 |
| ·PID控制原理 | 第18-20页 |
| ·关键器件 | 第20-25页 |
| ·光纤耦合器 | 第20页 |
| ·光纤准直器 | 第20-22页 |
| ·光纤环形器 | 第22-23页 |
| ·压电陶瓷叠堆执行器 | 第23-24页 |
| ·光纤布拉格光栅FBG | 第24-25页 |
| ·表面形貌测量 | 第25-27页 |
| 3 测量系统原理分析 | 第27-40页 |
| ·双波长迈克尔逊干涉仪分析 | 第27-29页 |
| ·自动相位跟踪补偿系统分析 | 第29-37页 |
| ·自动相位跟踪补偿器 | 第29页 |
| ·二阶积分反馈电路 | 第29-31页 |
| ·反馈回路传递函数 | 第31-32页 |
| ·反馈回路稳定性验证 | 第32-37页 |
| ·台阶高度测量分析 | 第37-38页 |
| ·测量系统的新颖性 | 第38-40页 |
| 4 实验结果 | 第40-43页 |
| ·反馈回路评价 | 第40-41页 |
| ·测量系统评价 | 第41-43页 |
| 5 结论 | 第43-45页 |
| ·工作总结 | 第43页 |
| ·展望 | 第43-45页 |
| 参考文献 | 第45-47页 |
| 作者简历 | 第47-49页 |
| 学位论文数据集 | 第49页 |
