| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-29页 |
| ·场效应晶体管简介 | 第10-14页 |
| ·场效应晶体管基本原理和结构 | 第10-11页 |
| ·场效应晶体管基本性能参数 | 第11-14页 |
| ·石墨烯的结构、性质和应用 | 第14-17页 |
| ·石墨烯的结构 | 第14-15页 |
| ·石墨烯的性质 | 第15-16页 |
| ·石墨烯在微电子领域的应用 | 第16-17页 |
| ·石墨烯的制备和表征 | 第17-24页 |
| ·石墨烯的制备 | 第17-20页 |
| ·石墨烯的表征 | 第20-23页 |
| ·小结 | 第23-24页 |
| ·石墨烯电极对的制备方法 | 第24-27页 |
| ·电子束曝光 | 第24-25页 |
| ·AFM针尖裁剪法 | 第25-26页 |
| ·聚合物单分子层掩膜法 | 第26-27页 |
| ·本文选题依据及主要研究内容 | 第27-29页 |
| ·论文选题的目的和意义 | 第27-28页 |
| ·本文主要的研究内容 | 第28-29页 |
| 第2章 石墨烯电学性能的研究 | 第29-35页 |
| ·石墨烯晶体管的制备 | 第29-32页 |
| ·紫外光刻制备源漏电极 | 第29-31页 |
| ·金丝掩膜法制备源漏电极 | 第31-32页 |
| ·石墨烯电学性能测试与分析 | 第32-34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 第3章 基于石墨烯电极的场效应晶体管的制备及性能研究 | 第35-45页 |
| ·石墨烯电极对的制备方法 | 第35-38页 |
| ·碳纤维和金丝交替掩膜法 | 第35-38页 |
| ·基于石墨烯电极的场效应晶体管的性能 | 第38-43页 |
| ·基于石墨烯电极场效应晶体管导电沟道的制备 | 第38-40页 |
| ·器件的输出特性及转移特性 | 第40-43页 |
| ·小结 | 第43-45页 |
| 第4章 石墨烯纳米间隙电极对的制备研究 | 第45-55页 |
| ·石墨烯纳米间隙电极对在分子器件中的应用 | 第45页 |
| ·纳米线掩膜法制备石墨烯纳米间隙电极对 | 第45-47页 |
| ·AFM针尖裁剪法制备石墨烯纳米间隙电极对 | 第47-53页 |
| ·小结 | 第53-55页 |
| 结论与展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 附录A (攻读学位期间所发表的学术论文目录) | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |