| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 引言 | 第7-8页 |
| 1 文献综述 | 第8-25页 |
| ·气体放电的研究概况 | 第8-10页 |
| ·氮等离子体的产生方式和研究意义 | 第10-18页 |
| ·氮等离子体的产生方式 | 第10页 |
| ·氮等离子体及含氮等离子体研究的科学意义 | 第10-11页 |
| ·介质阻挡放电 | 第11-18页 |
| ·等离子体中活性物中的诊断方式 | 第18-23页 |
| ·探针法 | 第18-19页 |
| ·光谱法 | 第19-21页 |
| ·质谱法 | 第21-23页 |
| ·氮等离子体的应用 | 第23页 |
| ·本论文的研究目的和主要研究工作 | 第23-25页 |
| 2 实验内容 | 第25-34页 |
| ·分子束质谱实验装置 | 第25-31页 |
| ·氮等离子体的产生装置 | 第25-26页 |
| ·分子束质谱系统 | 第26-27页 |
| ·采样孔板、分流器、离子偏转板、调节阀和准直孔 | 第27-28页 |
| ·抽气系统 | 第28页 |
| ·探测系统 | 第28-30页 |
| ·质谱分析基本原理 | 第30-31页 |
| ·发射光谱实验装置 | 第31-34页 |
| ·反应器和电极结构 | 第31页 |
| ·发射光谱系统 | 第31-32页 |
| ·介质阻挡微放电氮等离子体振动温度的测量原理 | 第32-34页 |
| 3 氮气介质阻挡放电微放电中活性物种的分子束质谱诊断研究 | 第34-45页 |
| ·氮正离子的产生及检测研究 | 第34-42页 |
| ·实验过程 | 第35页 |
| ·介质阻挡放电微放电氮正离子的质谱检测 | 第35-36页 |
| ·氮正离子信号随放电参数的变化规律 | 第36-42页 |
| ·介质阻挡放电中氮正离子的产生和消耗过程分析 | 第42-44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 4 大气压下氮气介质阻挡微放电中振动温度时间分辨的研究 | 第45-55页 |
| ·从大气压介质阻挡微放电等离子体的发射光谱及电流电压波形分析 | 第45-49页 |
| ·振动温度时间分辨的测量结果与讨论 | 第49-54页 |
| ·N_2(C~3Π_u)振动温度的时间分辨测量方法 | 第49-52页 |
| ·N_2(C~3Π_u)在不同压强下振动温度的时间分辨 | 第52-53页 |
| ·N_2(C~3Π_u)在不同放电电压下振动温度的时间分辨 | 第53-54页 |
| ·小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
