| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| ·概述 | 第9-12页 |
| ·少子寿命控制技术 | 第12-15页 |
| ·掺铂理论分析 | 第15-19页 |
| 2 SFRD理论及相关技术 | 第19-31页 |
| ·超快恢复二极管的结构和基本工作原理 | 第19-21页 |
| ·SFRD的主要性能参数 | 第21-25页 |
| ·SFRD电学参数温度特性 | 第25-28页 |
| ·电参数的测试 | 第28-31页 |
| 3 SFRD的制造工艺及研究 | 第31-51页 |
| ·SFRD的结构设计分析与讨论 | 第31-33页 |
| ·实验工艺 | 第33-38页 |
| ·实验研究 | 第38-51页 |
| 4 结果分析讨论 | 第51-63页 |
| ·正向压降与反向恢复时间的关系 | 第51-53页 |
| ·正向压降与结深的关系 | 第53-55页 |
| ·反向击穿电压与结深的关系 | 第55-57页 |
| ·反向恢复时间与芯片尺寸的关系 | 第57-58页 |
| ·反向恢复时间的温度特性 | 第58-59页 |
| ·正向压降的温度特性 | 第59-61页 |
| ·高温漏电流与反向恢复时间的关系 | 第61-63页 |
| 5 总结 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |