飞秒激光微结构加工工艺的研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·飞秒激光加工研究现状 | 第7-12页 |
| ·课题的研究意义和主要工作 | 第12-13页 |
| 第二章 飞秒激光加工理论 | 第13-30页 |
| ·激光与固体相互作用过程 | 第13-14页 |
| ·飞秒激光加工的特点 | 第14-23页 |
| ·长脉冲激光加工中的热扩散问题 | 第14-15页 |
| ·飞秒激光加工的机理 | 第15-20页 |
| ·飞秒激光加工的优势 | 第20-23页 |
| ·飞秒激光加工理论模型 | 第23-30页 |
| ·金属 | 第23-25页 |
| ·电介质 | 第25-27页 |
| ·半导体 | 第27-30页 |
| 第三章 飞秒激光加工实验系统 | 第30-39页 |
| ·飞秒激光器 | 第31-34页 |
| ·光路系统 | 第34-36页 |
| ·移动平台 | 第36-37页 |
| ·监视系统 | 第37-39页 |
| 第四章 飞秒激光用于烧蚀的过程分析与实验 | 第39-59页 |
| ·实验概述 | 第39-40页 |
| ·实验目的 | 第39页 |
| ·实验对象 | 第39页 |
| ·实验方法 | 第39页 |
| ·测试手段 | 第39-40页 |
| ·烧痕 | 第40-41页 |
| ·烧痕概述 | 第40页 |
| ·烧痕的影响参数 | 第40页 |
| ·烧痕的应用 | 第40-41页 |
| ·波纹 | 第41-54页 |
| ·波纹概述 | 第41-42页 |
| ·波纹的形成 | 第42-43页 |
| ·波纹的影响因素 | 第43-52页 |
| ·影响波纹及表面微结构的其它因素 | 第52-54页 |
| ·烧蚀孔 | 第54-59页 |
| ·烧蚀孔概述 | 第54-55页 |
| ·烧蚀孔的影响因素 | 第55-57页 |
| ·烧蚀孔的优化 | 第57-59页 |
| 第五章 飞秒激光用于切割工艺的分析与实验 | 第59-67页 |
| ·金属 | 第59-62页 |
| ·实验概述 | 第59页 |
| ·影响参数 | 第59-62页 |
| ·电介质 | 第62-67页 |
| ·实验概述 | 第62页 |
| ·影响参数 | 第62-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
