| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 引言 | 第10-23页 |
| ·太阳能电池概述 | 第10-12页 |
| ·太阳能电池发展背景及研究意义 | 第10页 |
| ·太阳能电池发展状况 | 第10-11页 |
| ·CIGS薄膜太阳能电池发展历史及研究现状 | 第11-12页 |
| ·太阳能电池工作原理及基本特性 | 第12-15页 |
| ·太阳能电池工作原理 | 第12-13页 |
| ·太阳能电池性能参数 | 第13-15页 |
| ·CIGS薄膜太阳能电池简介 | 第15-18页 |
| ·CIGS薄膜太阳能电池特点 | 第15-16页 |
| ·CIGS薄膜太阳能电池结构简介 | 第16-18页 |
| ·CIGS薄膜制备方法及优点简介 | 第18-21页 |
| ·CIGS薄膜真空制备法 | 第18-20页 |
| ·非真空制备法 | 第20-21页 |
| ·研究目标和研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 CIGS薄膜的制备和表征方法 | 第23-30页 |
| ·CIGS薄膜的制备方法—磁控溅射技术简介 | 第23-24页 |
| ·磁控溅射技术简介 | 第23页 |
| ·磁控溅射实验设备介绍 | 第23-24页 |
| ·CIGS薄膜和薄膜电池的制备工艺 | 第24-26页 |
| ·衬底的选择与清洗 | 第24-25页 |
| ·背电极Mo层制备工艺 | 第25页 |
| ·CIGS光吸收层制备工艺 | 第25-26页 |
| ·CIGS薄膜太阳能电池制备流程 | 第26页 |
| ·CIGS薄膜检测技术及仪器 | 第26-30页 |
| ·SEM和EDX检测技术 | 第26-27页 |
| ·XRD检测技术 | 第27-28页 |
| ·四探针测试仪 | 第28-29页 |
| ·拉曼光谱测试技术 | 第29-30页 |
| 第三章 磁控溅射单靶法制备CIGS薄膜 | 第30-56页 |
| ·背电极Mo层的制备 | 第30-33页 |
| ·Mo层衬底温度和溅射压强的选择 | 第30-32页 |
| ·Mo层对CIGS层的影响 | 第32-33页 |
| ·衬底温度对CIGS薄膜的影响 | 第33-37页 |
| ·CIGS薄膜SEM形貌分析 | 第33-36页 |
| ·CIGS薄膜XRD物相分析 | 第36-37页 |
| ·溅射气压对CIGS薄膜的影响 | 第37-38页 |
| ·靶基距对CIGS薄膜的影响 | 第38-39页 |
| ·溅射功率对CIGS薄膜的影响 | 第39-48页 |
| ·CIGS薄膜SEM形貌分析 | 第40-42页 |
| ·CIGS薄膜EDX成分分析 | 第42-44页 |
| ·CIGS薄膜拉曼光谱分析 | 第44-46页 |
| ·CIGS薄膜XRD物相分析 | 第46-47页 |
| ·CIGS薄膜电阻率的估测 | 第47-48页 |
| ·CIGS微米柱及其初步分析 | 第48-54页 |
| ·溅射气压对CIGS微米柱的影响 | 第50-52页 |
| ·溅射功率对CIGS微米柱的影响 | 第52-53页 |
| ·CIGS微米柱对太阳能电池器件的影响 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第四章 CIGS薄膜电池制备与性能分析 | 第56-62页 |
| ·CIGS薄膜电池制备现状和目标 | 第56页 |
| ·器件中CIGS层工艺评析 | 第56-58页 |
| ·高溅射功率下沉积的CIGS薄膜 | 第57页 |
| ·柱状生长的CIGS薄膜 | 第57-58页 |
| ·CIGS薄膜电池性能参数浅析 | 第58-61页 |
| ·串联电阻和并联电阻对CIGS薄膜电池输出特性的影响 | 第58-60页 |
| ·CIGS薄膜对电池输出特性的影响 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 结论 | 第62-65页 |
| ·结论 | 第62-63页 |
| ·CIGS薄膜电池制备工艺中存在的问题 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 硕士期间取得的研究成果 | 第71-72页 |