| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-35页 |
| ·锂离子电池简介 | 第11-14页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·锂离子电池的工作原理 | 第12-13页 |
| ·锂离子电池的特点 | 第13-14页 |
| ·薄膜锂离子电池简介 | 第14-23页 |
| ·引言 | 第14-16页 |
| ·薄膜锂离子电池发展简史 | 第16-18页 |
| ·可充电固态薄膜电池的制备 | 第18-20页 |
| ·薄膜锂离子电池发展遇到的瓶颈及问题 | 第20-23页 |
| ·固态电解质简介 | 第23-26页 |
| ·引言 | 第23页 |
| ·固态电解质的特点及应用 | 第23-24页 |
| ·固态电解质的分类 | 第24页 |
| ·锂磷氧氮(LiPON)的研究进展 | 第24-26页 |
| ·锂离子电池负极材料简介 | 第26-33页 |
| ·负极材料的基本要求 | 第26页 |
| ·负极材料的发展及分类 | 第26-30页 |
| ·锡基合金负极材料的研究进展 | 第30-32页 |
| ·锡基合金负极存在的问题 | 第32-33页 |
| ·本文的出发点与研究思路 | 第33-35页 |
| 第二章 材料制备与实验方法 | 第35-46页 |
| ·薄膜电极的制备方法 | 第35-38页 |
| ·真空溅射镀膜的基本原理及特点 | 第35-37页 |
| ·磁控溅射仪器主要功能及技术指标 | 第37-38页 |
| ·溅射工艺参数的确定 | 第38-39页 |
| ·溅射气体及本底真空度 | 第38页 |
| ·溅射参数的确定 | 第38-39页 |
| ·实验操作流程 | 第39-41页 |
| ·基底的预处理 | 第39页 |
| ·镀膜流程 | 第39-40页 |
| ·电极制备与电池组装 | 第40-41页 |
| ·薄膜电极的物相与形貌分析 | 第41-43页 |
| ·X 射线衍射(XRD)物相分析 | 第41-42页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM)形貌及能谱(EDS)分析 | 第42-43页 |
| ·电极材料的电化学分析方法 | 第43-46页 |
| ·恒流充放电循环测试(Galvanostatic Charge-Discharge cycling test) | 第43页 |
| ·循环伏安测试(Cyclic Voltammetry，CV) | 第43-44页 |
| ·交流阻抗谱测试(Alternative Current Impedance) | 第44页 |
| ·直流极化(Hebb-Wagner 极化)测试 | 第44-46页 |
| 第三章 磁控溅射制备LIPON 固态电解质及其性质研究 | 第46-68页 |
| ·引言 | 第46-48页 |
| ·实验部分 | 第48-52页 |
| ·Li_3P0_4 靶材的制备 | 第48-50页 |
| ·Cu/LiPON/Cu Sandwich 单元的制备 | 第50-51页 |
| ·Cu/Li_3P0_4/Cu 单元的制备 | 第51-52页 |
| ·结果与讨论 | 第52-63页 |
| ·XRD 分析 | 第52-53页 |
| ·形貌及组分分析 | 第53-55页 |
| ·LiPON 及Cu/LiPON/Cu Sandwich 单元表面AFM 分析 | 第55-57页 |
| ·电化学性能分析 | 第57-63页 |
| ·LiPON 的氮化机理探讨 | 第63-66页 |
| ·磷酸盐的分类及其特征 | 第63-65页 |
| ·磷酸锂(Li_3P0_4)的氮化过程 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 第四章 磁控溅射制备锡基合金负极材料及电化学性能研究 | 第68-90页 |
| ·引言 | 第68-70页 |
| ·薄膜锡电极的制备与性能研究 | 第70-74页 |
| ·薄膜锡电极的制备 | 第70页 |
| ·薄膜锡电极的XRD 分析 | 第70-71页 |
| ·薄膜锡电极的SEM 分析 | 第71-72页 |
| ·薄膜锡电极的恒流充放电测试 | 第72-73页 |
| ·循环伏安测试 | 第73-74页 |
| ·薄膜锡-钛复合电极的制备与性能研究 | 第74-84页 |
| ·薄膜锡-钛复合电极的结构设计与制备 | 第74-75页 |
| ·锡钛复合薄膜电极XRD 分析 | 第75-78页 |
| ·薄膜钛-锡复合电极的SEM 分析 | 第78-79页 |
| ·薄膜锡-钛复合电极的电化学性能分析 | 第79-84页 |
| ·薄膜铜-锡-钛复合电极的制备与性能研究 | 第84-90页 |
| ·薄膜锡-钛复合电极的XRD 分析 | 第85-86页 |
| ·薄膜铜-锡-钛复合电极的SEM 分析 | 第86-87页 |
| ·薄膜铜-锡-钛复合电极的恒流充放电测试 | 第87-88页 |
| ·小结 | 第88-90页 |
| 第五章 结论 | 第90-92页 |
| ·总结 | 第90-91页 |
| ·不足之处与展望 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 参考文献 | 第93-101页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第101-102页 |
