MEMS电容式传感器接口集成电路研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| ·背景与意义 | 第8-12页 |
| ·电容式传感器发展对检测电路的需求 | 第8页 |
| ·电容式微传感器检测技术现状 | 第8-12页 |
| ·微电容传感器测量原理及电路形式 | 第12-15页 |
| ·论文的主要工作 | 第15-17页 |
| 第二章 微电容测量集成电路设计与模拟 | 第17-38页 |
| ·测量电路结构设计 | 第17-18页 |
| ·张弛振荡器原理及设计 | 第18-28页 |
| ·张弛振荡器原理分析 | 第18-21页 |
| ·自偏置恒流源设计 | 第21页 |
| ·Schmitt触发器的重新设计 | 第21-28页 |
| ·张弛振荡器设计结果 | 第28页 |
| ·差频电路的原理与设计 | 第28-35页 |
| ·差频电路设计的必要性 | 第28-31页 |
| ·差频电路结构与功能设计 | 第31-32页 |
| ·差频电路的原理证明 | 第32-35页 |
| ·全电路温度、电源和工艺敏感性模拟 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 版图设计与验证 | 第38-49页 |
| ·版图设计工具及设计流程 | 第38页 |
| ·工艺流程和光刻版次 | 第38-42页 |
| ·关键器件的版图设计考虑 | 第42-45页 |
| ·输入保护单元版图设计 | 第42-43页 |
| ·电阻设计 | 第43-44页 |
| ·参考电容设计 | 第44-45页 |
| ·版图检查及验证 | 第45-48页 |
| ·设计规则检查（DRC） | 第45-46页 |
| ·版图截面提取 | 第46-47页 |
| ·版图参数提取和后仿真 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 流片结果测试 | 第49-58页 |
| ·工艺参数测试 | 第49-51页 |
| ·MOS管阈值电压的测试 | 第49页 |
| ·跨导的测试 | 第49-50页 |
| ·方块电阻测试 | 第50页 |
| ·参考电容 | 第50-51页 |
| ·比较器参数测试 | 第51-52页 |
| ·六管Schmitt触发器测试 | 第52-54页 |
| ·静态特性测试 | 第52-53页 |
| ·动态特性测试 | 第53-54页 |
| ·振荡器电容——频率转化特性测试 | 第54-55页 |
| ·全电路电容——频率输出特性测试 | 第55-56页 |
| ·测试结果分析与结论 | 第56-58页 |
| ·测试结果分析 | 第56-57页 |
| ·结论 | 第57-58页 |
| 第五章 接口电路与传感器集成的实现考虑 | 第58-61页 |
| 第六章 结论与展望 | 第61-64页 |
| ·结论 | 第61页 |
| ·存在的问题和改进方向 | 第61-62页 |
| ·MEMS电容式传感器处理技术研究展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 附录A 接口电路的PSPICE网表 | 第67-70页 |
| 附录B 接口电路原理图 | 第70-71页 |
| 附录C 接口电路版图 | 第71-72页 |
| 附录D 版图参数提取定义文件 | 第72-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文 | 第73-74页 |
| 致 谢 | 第74页 |
