MOEMS光开关封装的设计与制作
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| ·全光网络 | 第9-11页 |
| ·全光网络中的光开关 | 第11-16页 |
| ·MOEMS 光开关 | 第16-20页 |
| ·本课题的研究意义及主要内容 | 第20-23页 |
| 第二章 准直、耦合系统理论设计 | 第23-36页 |
| ·单模光纤的模场理论 | 第23-29页 |
| ·高斯光束准直方法 | 第29-33页 |
| ·本章小结 | 第33-36页 |
| 第三章 准直、耦合系统制作技术基础 | 第36-49页 |
| ·单晶硅晶格结构分析 | 第36-37页 |
| ·硅的湿法刻蚀 | 第37-42页 |
| ·（100）硅片上三维结构的制作 | 第42-47页 |
| ·本章小结 | 第47页 |
| 参考文献 | 第47-49页 |
| 第四章 MOEMS 光开关准直封装的技术研究 | 第49-66页 |
| ·球透镜自对准方案 | 第50页 |
| ·准直器V 型槽基座定位准直方案 | 第50-52页 |
| ·基座制作 | 第52-58页 |
| ·封装 | 第58-61页 |
| ·光学性能的测试 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 第五章 MOEMS 光开关插入损耗的分析 | 第66-78页 |
| ·光开关的插入损耗 | 第66-68页 |
| ·C-LENS 准直器的损耗分析 | 第68-75页 |
| ·反射镜镜面对损耗的影响 | 第75-77页 |
| ·本章小结 | 第77页 |
| 参考文献 | 第77-78页 |
| 总结 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 作者简历 | 第80-81页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第81页 |
| 申请发明专利情况 | 第81-83页 |
