丝网印刷制作选择性发射极太阳电池的研究
| 摘要： | 第1-7页 |
| 1 前言 | 第7-16页 |
| ·晶体硅太阳电池的丝网印刷工艺 | 第7-8页 |
| ·选择性发射极结构的提出 | 第8-9页 |
| ·选择性发射极结构的实现方法 | 第9-15页 |
| ·本文的研究意义、创新点和研究内容 | 第15-16页 |
| 2 选择性发射极太阳电池 | 第16-27页 |
| ·太阳电池的工作原理及电学参数 | 第16-20页 |
| ·工作原理及等效电路 | 第16-17页 |
| ·太阳电池的电学参数 | 第17-20页 |
| ·选择性发射极结构的特征 | 第20-21页 |
| ·常规太阳电池的均匀发射极结构 | 第20页 |
| ·选择性发射极太阳电池结构 | 第20-21页 |
| ·选择性发射极结构的优点 | 第21-27页 |
| ·提高光生载流子的收集率 | 第21-22页 |
| ·提高太阳电池的输出电压 | 第22页 |
| ·降低太阳电池的串联电阻 | 第22-24页 |
| ·减小光生少数载流子的表面复合 | 第24-25页 |
| ·减小死层的影响而改善扩散层的整体性能 | 第25-27页 |
| 3 选择性发射极太阳电池的制作 | 第27-45页 |
| ·硅片清洗及制作绒面 | 第28-29页 |
| ·清洗及制绒过程 | 第28页 |
| ·清洗及制绒原理 | 第28-29页 |
| ·丝网印刷高浓度磷浆 | 第29-30页 |
| ·POCL_3气氛中扩散制结 | 第30-34页 |
| ·扩散的原理 | 第30页 |
| ·POCl_3扩散模式 | 第30-31页 |
| ·非电极区轻掺杂浅扩散的实现 | 第31-34页 |
| ·电极区重掺杂深扩散的实现 | 第34页 |
| ·氧化及表面钝化 | 第34-36页 |
| ·SiO_2薄膜的作用 | 第34-35页 |
| ·SiO_2薄膜层的质量控制 | 第35-36页 |
| ·沉积减反射膜 | 第36-38页 |
| ·减反射膜的原理 | 第36-38页 |
| ·减反射膜的材料及制备 | 第38页 |
| ·有关减反射膜的讨论 | 第38页 |
| ·印刷及烧结铝背场及正背面电极 | 第38-43页 |
| ·太阳电池的电极及其图形 | 第38-40页 |
| ·电极浆料及其丝网印刷 | 第40页 |
| ·电极的烧结 | 第40-41页 |
| ·铝背场 | 第41-43页 |
| ·去除周边PN结 | 第43-45页 |
| 4 选择性发射极太阳电池的测试及分析 | 第45-58页 |
| ·高低掺杂区的测试 | 第45-47页 |
| ·阳极氧化去层法 | 第45-46页 |
| ·四探针测量方块电阻 | 第46页 |
| ·冷热探针测导电类型 | 第46-47页 |
| ·少子寿命的测试 | 第47-48页 |
| ·少子寿命与太阳电池的关系 | 第47页 |
| ·准稳态光电导法测量少子寿命 | 第47-48页 |
| ·电学参数及Ⅰ—Ⅴ特性的测试 | 第48-51页 |
| ·光谱响应的测试 | 第51页 |
| ·测试结果 | 第51-56页 |
| ·高低掺杂区的测试结果 | 第51-52页 |
| ·少子寿命的测试结果 | 第52-53页 |
| ·电学参数的测试结果 | 第53-56页 |
| ·光谱响应的测试结果 | 第56页 |
| ·测试结果的分析及讨论 | 第56-58页 |
| 5 结论 | 第58页 |
| 6 进一步改进工作及发展趋势 | 第58-59页 |
| 参考文献： | 第59-64页 |
| 攻读硕士期间已发表和待发表的论文 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
