| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 主要中英文符号对照表 | 第8-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-17页 |
| 1．1 研究背景 | 第9页 |
| 1．2 课题的总体设计概述 | 第9-15页 |
| 1．2．1 集成光学调制器 | 第10-12页 |
| 1．2．2 带电极的M-Z干涉仪式波导调制器 | 第12-14页 |
| 1．2．3 无电极的M-Z干涉仪式波导电光传感器 | 第14-15页 |
| 1．3 论文的基本结构及主要内容 | 第15-17页 |
| 第二章 线性电光效应引起的波导折射率变化分析 | 第17-36页 |
| 2．1 电光调制原理 | 第17-24页 |
| 2．1．1 折射率椭球 | 第17-18页 |
| 2．1．2 电光效应 | 第18-23页 |
| 2．1．3 晶材的选取 | 第23页 |
| 2．1．4 晶轴的选取 | 第23-24页 |
| 2．2 正常型和反转型波导电光效应的分析 | 第24-31页 |
| 2．2．1 LiNbO_3晶体折射率变化的分析 | 第25-30页 |
| 2．2．2 反转型LiNbO_3晶体的电光张量的推导 | 第30-31页 |
| 2．3 数值仿真计算结果及分析 | 第31-36页 |
| 第三章 无电极传感器的设计与制作 | 第36-50页 |
| 3．1 无电极传感器的设计 | 第36-40页 |
| 3．2 无电极传感器制作的工艺过程 | 第40-48页 |
| 3．2．1 介质晶片的清洗 | 第40-41页 |
| 3．2．2 蒸钛过程 | 第41页 |
| 3．2．3 光刻过程 | 第41-43页 |
| 3．2．4 钛扩散 | 第43-44页 |
| 3．2．5 质子交换与退火 | 第44-46页 |
| 3．2．6 研磨与抛光 | 第46-47页 |
| 3．2．7 光纤的耦合 | 第47-48页 |
| 3．3 器件制作过程的总结 | 第48-50页 |
| 第四章 传感器的测试 | 第50-60页 |
| 4．1 光波导插入的损耗测试 | 第50-51页 |
| 4．2 波导的传感特性 | 第51-58页 |
| 4．2．1 波导的直流特性 | 第51-58页 |
| 4．2．2 波导的交流特性 | 第58页 |
| 4．3 器件的性能分析 | 第58-60页 |
| 第五章 结论与展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 个人简历 | 第66页 |