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GaInAsSb/AlGaAsSb半导体激光器器件工艺及表征技术研究

致谢第1-4页
<中文摘要>第4-5页
<英文摘要>第5-8页
第一章  引言第8-10页
第二章  文献综述第10-28页
   ·半导体激光器的发展第10-16页
   ·MBE材料生长技术第16-20页
   ·GaInAsSb/AlGaAsSb 激光器发展概况第20-25页
   ·小结第25-28页
第三章  半导体激光器性能测试表征系统第28-41页
   ·引言第28-29页
   ·脉冲测试系统的设计和组建第29-38页
   ·傅立叶变换红外光谱仪及激射光谱测量第38-40页
   ·小结第40-41页
第四章  用于GaSb/AlGaAsSb器件制备的新型化学腐蚀液研究第41-50页
   ·引言第41-42页
   ·实验方法第42-43页
   ·实验结果及讨论第43-49页
   ·结论第49-50页
第五章  InGaAsSb/AlGaAsSb 多量子阱激光器第50-72页
   ·引言第50页
   ·InGaAsSb/AlGaAsSb 激光器的材料的选择第50-57页
   ·器件的流片第57-61页
   ·器件性能测试第61-71页
   ·小结第71-72页
第六章  结论第72-74页
<参考文献>第74-78页
附录一  发表的论文第78页
附录二  个人简历第78页

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