| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-30页 |
| ·微机电系统与光学微机电系统 | 第9-13页 |
| ·微机电系统(MEMS)的研究背景 | 第9-10页 |
| ·微机电系统的研究现状 | 第10-12页 |
| ·光学微机电系统(MOEMS)的研究背景及现状 | 第12-13页 |
| ·常用的MEMS微驱动技术 | 第13-19页 |
| ·静电力驱动 | 第14页 |
| ·压电驱动 | 第14-15页 |
| ·电磁力驱动 | 第15页 |
| ·形状记忆合金驱动 | 第15-16页 |
| ·热驱动 | 第16-17页 |
| ·其他驱动方式 | 第17-19页 |
| ·光驱动技术 | 第19-29页 |
| ·光辐射压力 | 第19-22页 |
| ·光镊技术的产生和发展 | 第22-23页 |
| ·光镊技术的研究现状 | 第23-27页 |
| ·常规光镊 | 第23-24页 |
| ·光纤光镊 | 第24-25页 |
| ·全息光镊 | 第25-27页 |
| ·纳米光镊 | 第27页 |
| ·光驱动理论发展和研究现状 | 第27-29页 |
| ·本论文的研究意义和主要研究内容 | 第29-30页 |
| ·本论文的研究意义 | 第29页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第29-30页 |
| 第二章 光镊的理论原理 | 第30-62页 |
| ·光镊的几何光学模型 | 第30-40页 |
| ·光镊的几何光学基本原理 | 第30-32页 |
| ·不同形式的光束对光镊工作效果的影响 | 第32-34页 |
| ·不同聚焦点对光镊的影响 | 第34-35页 |
| ·几何光学模型下光压的分析 | 第35页 |
| ·光镊的几何光学计算模型 | 第35-40页 |
| ·光镊的电磁波模型 | 第40-62页 |
| ·基于时域有限差法(FDTD)的光镊电磁波模型 | 第40-56页 |
| ·FDTD的电磁场的时间推进计算公式 | 第40-46页 |
| ·FDTD的吸收边界条件 | 第46-52页 |
| ·FDTD的数值稳定性要求 | 第52-54页 |
| ·时间离散间隔的稳定性要求 | 第53-54页 |
| ·Courant稳定性条件 | 第54页 |
| ·运用FDTD电磁波模型对光镊力进行分析的主要步骤 | 第54-56页 |
| ·基于矩量法(MoM)的光镊电磁波模型 | 第56-60页 |
| ·MoM的均匀介质体散射问题积分方程的建立 | 第56-58页 |
| ·MoM的离散化模式 | 第58-59页 |
| ·MoM的基函数和试函数的选取 | 第59-60页 |
| ·MoM的均匀介质体散射场的离散积分方程 | 第60页 |
| ·运用MoM电磁波模型对光镊力进行分析的主要步骤 | 第60-62页 |
| 第三章 光镊的实验研究和分析 | 第62-76页 |
| ·光捕获微球的试验系统 | 第62-63页 |
| ·光捕获微球试验 | 第63-66页 |
| ·光驱动微转子的试验系统搭建 | 第66-68页 |
| ·光镊系统总体结构 | 第66-67页 |
| ·光镊系统部分部件的选择 | 第67-68页 |
| ·用于光驱动的微器件的设计加工和实验过程 | 第68-70页 |
| ·微器件材料的选择 | 第68-69页 |
| ·微器件的设计 | 第69-70页 |
| ·微器件的加工和光驱动实验过程 | 第70页 |
| ·光驱动微转子的实验结果 | 第70-71页 |
| ·光驱动微转子的理论分析 | 第71-76页 |
| ·万字型转子的光力矩分析 | 第71-74页 |
| ·基于万字型转子的改进型转子光力矩分析 | 第74-76页 |
| 第四章 光纤光镊系统的搭建和试验研究 | 第76-85页 |
| ·光纤原理 | 第76-82页 |
| ·光纤类型 | 第79-80页 |
| ·光纤的数值孔径 | 第80-82页 |
| ·光纤光镊系统的搭建 | 第82-84页 |
| ·光纤光镊捕获微球试验 | 第84-85页 |
| 第五章 总结与展望 | 第85-88页 |
| ·论文的主要成果 | 第85页 |
| ·研究工作的创新之处 | 第85-86页 |
| ·论文工作的展望 | 第86-88页 |
| 参考文献 | 第88-92页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第92-93页 |
| 致谢 | 第93页 |