基于PDMS-硅的液体微流量传感器研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题的提出 | 第8页 |
| ·液体微流量传感器的国内外研究现状 | 第8-15页 |
| ·本文的主要工作 | 第15-16页 |
| 2 流量传感器工作原理及 MEMS技术简介 | 第16-23页 |
| ·流量传感器分类 | 第16-17页 |
| ·热温差式流量传感器工作原理 | 第17-21页 |
| ·热量传递方式 | 第18-19页 |
| ·传感器流体热分析 | 第19-21页 |
| ·MEMS技术简介 | 第21-23页 |
| 3 微流量传感器的设计与制作 | 第23-38页 |
| ·微流量传感器设计 | 第23-29页 |
| ·微流量传感器结构设计 | 第23-26页 |
| ·材料选择与版图设计 | 第26-29页 |
| ·微流量传感器的制作 | 第29-38页 |
| ·传感器芯片制作 | 第29-32页 |
| ·微沟道芯片制作 | 第32-36页 |
| ·微沟道芯片与传感器芯片的封接 | 第36-38页 |
| 4 微流量传感器控制显示系统设计 | 第38-54页 |
| ·微流量传感器硬件电路设计 | 第38-46页 |
| ·桥路转换及信号放大电路 | 第38-40页 |
| ·A/D转换电路 | 第40页 |
| ·控制和选择电路 | 第40-41页 |
| ·LCD显示电路 | 第41-42页 |
| ·加热控制电路 | 第42-43页 |
| ·电源转换电路 | 第43-44页 |
| ·FPGA核心芯片及配置芯片 | 第44-46页 |
| ·微流量传感器软件设计 | 第46-54页 |
| ·选择模块 | 第47页 |
| ·采样读取模块 | 第47-48页 |
| ·温度转换模块 | 第48-49页 |
| ·流量转换模块 | 第49-50页 |
| ·PID控制模块 | 第50-51页 |
| ·显示转换模块 | 第51-52页 |
| ·LCD显示模块 | 第52-53页 |
| ·顶层模块 | 第53-54页 |
| 5 微流量液体传感器的性能分析 | 第54-65页 |
| ·Pt金属薄膜特性 | 第54-57页 |
| ·电阻特性 | 第54-55页 |
| ·温度特性 | 第55页 |
| ·加热特性 | 第55-57页 |
| ·微流量传感器测试系统组建 | 第57-58页 |
| ·微流量传感器性能测试及分析 | 第58-65页 |
| ·测量电压选择 | 第58-60页 |
| ·加热温度与流量的关系 | 第60-61页 |
| ·不同沟道宽度与流量的关系 | 第61-62页 |
| ·微流量传感器的稳定性 | 第62页 |
| ·流量与电压差的曲线拟合 | 第62-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
