| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| ·铁电体概述 | 第10-13页 |
| ·铁电体定义 | 第10-11页 |
| ·铁电材料的研究进展 | 第11-13页 |
| ·铁电薄膜概述 | 第13-18页 |
| ·铁电薄膜的性质与应用 | 第13-14页 |
| ·铁电薄膜的制备方法 | 第14-16页 |
| ·铁电薄膜研究现状及进展 | 第16-18页 |
| ·铁电存储器概述 | 第18-21页 |
| ·铁电存储器原理 | 第18页 |
| ·铁电存储器结构 | 第18-20页 |
| ·铁电存储器研究进展 | 第20-21页 |
| ·论文选题依据、研究内容及意义 | 第21-24页 |
| ·选题依据 | 第21-23页 |
| ·研究内容及意义 | 第23-24页 |
| 第二章 薄膜制备实验方法及材料 | 第24-33页 |
| ·溶胶-凝胶法工艺 | 第24-25页 |
| ·溶胶-凝胶法原理 | 第24页 |
| ·溶胶-凝胶法所需设备 | 第24-25页 |
| ·实验材料 | 第25-26页 |
| ·实验用药品详细说明 | 第25-26页 |
| ·衬底的选取与处理 | 第26页 |
| ·工艺过程与电极制备 | 第26-29页 |
| ·前驱体制备工艺过程 | 第26-27页 |
| ·薄膜制备过程 | 第27-29页 |
| ·电极制备过程 | 第29页 |
| ·薄膜微观结构与铁电性能表征 | 第29-33页 |
| ·微观结构表征 | 第29-30页 |
| ·铁电性能表征 | 第30-33页 |
| 第三章 铋过量对Bi_(3.25)La_(0.75)Ti_3O_(12)薄膜结构与性能的影响 | 第33-40页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·实验结果与讨论 | 第33-38页 |
| ·对BLT薄膜微结构的影响 | 第33-34页 |
| ·对BLT薄膜表面形貌的影响 | 第34-35页 |
| ·SEM断面分析 | 第35-36页 |
| ·对BLT薄膜铁电性的影响 | 第36-37页 |
| ·对BLT薄膜漏电流的影响 | 第37-38页 |
| ·小结 | 第38-40页 |
| 第四章 退火温度对BLT薄膜结构与性能的影响 | 第40-47页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·实验结果与讨论 | 第40-45页 |
| ·对BLT薄膜微结构的影响 | 第40-41页 |
| ·对BLT薄膜表面形貌的影响 | 第41-42页 |
| ·对BLT薄膜铁电性能的影响 | 第42-44页 |
| ·对薄膜漏电流的影响 | 第44页 |
| ·疲劳特性分析 | 第44-45页 |
| ·小结 | 第45-47页 |
| 第五章 钕掺杂对BTO薄膜结构与性能的影响 | 第47-52页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·实验结果与讨论 | 第47-51页 |
| ·对BTO薄膜微结构的影响 | 第47-48页 |
| ·对BTO薄膜表面形貌的影响 | 第48-49页 |
| ·对BTO薄膜铁电性能的影响 | 第49-50页 |
| ·对薄膜漏电流的影响 | 第50-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 第六章 退火温度对Bi_(3.50)Nd_(0.50)Ti_3O_(12)薄膜结构与性能的影响 | 第52-58页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·实验结果与讨论 | 第52-57页 |
| ·对BNT薄膜微结构的影响 | 第52-53页 |
| ·对BNT薄膜表面形貌的影响 | 第53-54页 |
| ·对BNT薄膜铁电性能的影响 | 第54-55页 |
| ·对BNT薄膜漏电流的影响 | 第55-56页 |
| ·疲劳特性分析 | 第56-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 第七章 结论 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第64-65页 |