| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 原子蒸气腔室抗弛豫镀膜研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2 MEMS微型腔室镀膜制备及弛豫测试系统搭建 | 第12-15页 |
| 1.2.1 MEMS微型腔室镀膜制备 | 第12-13页 |
| 1.2.2 弛豫性能测试系统搭建 | 第13-15页 |
| 1.3 OTS膜结合BFO薄膜 | 第15-18页 |
| 1.3.1 图案化BFO薄膜研究现状 | 第15-16页 |
| 1.3.2 OTS作为界面修饰层对BFO薄膜电池的影响 | 第16-18页 |
| 1.4 本论文研究的内容和意义 | 第18-20页 |
| 1.4.1 OTS膜存在的问题 | 第18页 |
| 1.4.2 主要研究内容及意义 | 第18-20页 |
| 第2章 OTS自组装多层膜及在BFO薄膜方面的应用研究 | 第20-34页 |
| 2.1 主要实验药品与仪器 | 第21-22页 |
| 2.2 OTS自组装膜及BFO薄膜的制备 | 第22-30页 |
| 2.2.1 玻璃表面OTS自组装膜的制备 | 第22-24页 |
| 2.2.2 OTS自组装膜引入碱金属蒸气腔室过程 | 第24-27页 |
| 2.2.3 弛豫性能测试系统搭建 | 第27-28页 |
| 2.2.4 图案化BFO薄膜的制备 | 第28-29页 |
| 2.2.5 OTS修饰BFO薄膜结构的制备 | 第29-30页 |
| 2.3 薄膜结构与性能表征手段 | 第30-34页 |
| 2.3.1 薄膜形貌及结构表征 | 第30-31页 |
| 2.3.2 薄膜性能表征 | 第31-34页 |
| 第3章 Pyrex玻璃表面OTS自组装膜的研究 | 第34-48页 |
| 3.1 镀膜时间对OTS自组装多层膜的影响 | 第34-42页 |
| 3.1.1 镀膜时间对OTS自组装多层膜组成的影响 | 第34-35页 |
| 3.1.2 镀膜时间对OTS自组装多层膜表面形态的影响 | 第35-38页 |
| 3.1.3 镀膜时间对OTS自组装多层膜疏水性能的影响 | 第38-42页 |
| 3.2 溶液浓度对OTS自组装多层膜的影响 | 第42-46页 |
| 3.2.1 溶液浓度对OTS自组装多层膜组成的影响 | 第42-43页 |
| 3.2.2 溶液浓度对OTS自组装多层膜表面形态的影响 | 第43-44页 |
| 3.2.3 溶液浓度对OTS自组装多层膜疏水性能的影响 | 第44-46页 |
| 3.3 本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 MEMS腔室引入OTS自组装多层膜及弛豫性能测试系统搭建 | 第48-54页 |
| 4.1 OTS-SAM引入MEMS蒸气腔室 | 第48-51页 |
| 4.1.1 玻璃表面OTS自组装多层膜的图案化 | 第48-51页 |
| 4.1.2 OTS自组装多层膜的引入 | 第51页 |
| 4.2 弛豫性能测试系统搭建及微型腔室的弛豫现象 | 第51-53页 |
| 4.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 OTS自组装多层膜在BFO薄膜方面的应用 | 第54-63页 |
| 5.1 OTS自组装多层膜诱导生长图案化BFO薄膜 | 第54-59页 |
| 5.1.1 图案化BFO薄膜的形貌和组成分析 | 第54-58页 |
| 5.1.2 图案化BFO薄膜的铁电性能分析 | 第58-59页 |
| 5.2 OTS自组装多层膜修饰BFO薄膜的研究 | 第59-62页 |
| 5.2.1 OTS自组装多层膜修饰BFO薄膜结构的形貌分析 | 第59-61页 |
| 5.2.2 OTS自组装多层膜修饰BFO薄膜结构的光伏性能分析 | 第61-62页 |
| 5.3 本章小结 | 第62-63页 |
| 第6章 主要结论和进一步研究工作 | 第63-65页 |
| 6.1 主要结论 | 第63-64页 |
| 6.2 进一步工作展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读硕士学位期间的学术成果 | 第70页 |
