| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 引言 | 第14-38页 |
| 1.1 柔性电子器件的发展及研究意义 | 第14-21页 |
| 1.1.1 基于无机半导体材料的柔性电子器件 | 第15-19页 |
| 1.1.2 采用有机以及纳米材料的柔性电子器件 | 第19-21页 |
| 1.2 柔性压力传感器的研究现状 | 第21-36页 |
| 1.2.1 基于传统无机半导体材料的柔性压力传感器研究现状 | 第21-23页 |
| 1.2.2 基于有机以及新型纳米材料的柔性压力传感器研究现状 | 第23-36页 |
| 1.3 论文的研究目标与研究内容 | 第36-38页 |
| 1.3.1 论文研究目标与意义 | 第36页 |
| 1.3.2 论文研究内容 | 第36页 |
| 1.3.3 论文结构安排 | 第36-38页 |
| 第2章 基于微纳结构的电容式柔性压力传感器的理论研究 | 第38-50页 |
| 2.1 介电层微纳结构对灵敏度的影响 | 第38-43页 |
| 2.1.1 电容式压力传感器模型建立 | 第38-39页 |
| 2.1.2 电容式压力传感器数值分析流程 | 第39-43页 |
| 2.2 电极微结构力学仿真分析: | 第43-49页 |
| 2.2.1 基于结构电极的电容式压力传感器的力学有限元分析 | 第44-46页 |
| 2.2.2 基于结构电极的电容式压力传感器的电学有限元分析 | 第46-49页 |
| 2.3 本章小结 | 第49-50页 |
| 第3章 介电层微纳结构对电容式压力传感器性能调控 | 第50-59页 |
| 3.1 可控制备介电层微纳结构流程 | 第50-53页 |
| 3.1.1 硅片上可控制备微米尺度金字塔结构 | 第50-52页 |
| 3.1.2 微结构PDMS弹性体制作流程 | 第52-53页 |
| 3.2 器件性能表征 | 第53-58页 |
| 3.2.1 灵敏度表征 | 第53-54页 |
| 3.2.2 电极材料对比 | 第54-58页 |
| 3.2.3 人体信号提取 | 第58页 |
| 3.3 本章小结 | 第58-59页 |
| 第4章 电极结构对电容式压力传感器性能调控 | 第59-69页 |
| 4.1 微纳电极结构的制备 | 第59-62页 |
| 4.1.1 三种尺度结构的电极制备思路 | 第59-60页 |
| 4.1.2 微米结构电极制备流程 | 第60-61页 |
| 4.1.3 基于微结构石墨烯电极的器件组装 | 第61-62页 |
| 4.2 器件性能测试 | 第62-67页 |
| 4.2.1 压力性能测试 | 第62-65页 |
| 4.2.2 器件光学性能测试 | 第65-66页 |
| 4.2.3 生物信号提取实验 | 第66-67页 |
| 4.3 本章小结 | 第67-69页 |
| 第5章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 5.1 论文的主要研究成果 | 第69-70页 |
| 5.2 论文创新点 | 第70页 |
| 5.3 未来的工作展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 作者简历及攻读学位论文期间发表的学术论文与研究成果 | 第78页 |
