| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-30页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-17页 |
| 1.1.1 集成电路与光刻技术 | 第10-12页 |
| 1.1.2 光刻机控制系统概述 | 第12-13页 |
| 1.1.3 总控及通讯分系统(MCS)概述 | 第13-17页 |
| 1.2 有限状态机(FSM)理论 | 第17-21页 |
| 1.2.1 有限状态机的基本原理及应用 | 第18-19页 |
| 1.2.2 有限状态机的描述方法 | 第19-20页 |
| 1.2.3 传统有限状态机的不足及改进 | 第20-21页 |
| 1.3 本论文所完成的内容 | 第21-29页 |
| 1.3.1 基于FSM的MCS控制系统的总体方案 | 第21-24页 |
| 1.3.2 基于FSM的MCS控制系统的功能描述与需求分析 | 第24-28页 |
| 1.3.3 课题研究的意义 | 第28-29页 |
| 1.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第2章 基于FSM的MCS控制系统硬件平台设计 | 第30-42页 |
| 2.1 MCS控制系统硬件总体方案 | 第30-31页 |
| 2.2 MCS控制系统硬件逻辑架构设计 | 第31-32页 |
| 2.3 MCS控制系统硬件物理架构设计与选型 | 第32-41页 |
| 2.3.1 系统控制器分析与选型 | 第32-35页 |
| 2.3.2 VME机箱分析与选型 | 第35-36页 |
| 2.3.3 数据存储模块分析与选型 | 第36-37页 |
| 2.3.4 接口通讯模块分析与选型 | 第37页 |
| 2.3.5 电源模块分析与选型 | 第37-41页 |
| 2.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第3章 基于FSM的MCS控制系统软件的设计 | 第42-76页 |
| 3.1 系统软件的逻辑架构设计 | 第42-43页 |
| 3.2 软件功能的模块化设计 | 第43-44页 |
| 3.3 系统状态正交分析和设计 | 第44-50页 |
| 3.4 软件的控制流程分析与设计 | 第50-57页 |
| 3.4.1 主框架流程 | 第51页 |
| 3.4.2 停机流程 | 第51-52页 |
| 3.4.3 初始化流程 | 第52-53页 |
| 3.4.4 关机流程 | 第53-54页 |
| 3.4.5 形成稳态流场流程 | 第54页 |
| 3.4.6 故障处理流程 | 第54-57页 |
| 3.4.7 更新系统参数流程 | 第57页 |
| 3.5 软件数据结构分析与设计 | 第57-59页 |
| 3.6 软件的UML图分析与设计 | 第59-64页 |
| 3.6.1 软件用例图分析与设计 | 第59-62页 |
| 3.6.2 软件的时序图分析与设计 | 第62-64页 |
| 3.7 软件状态转移机制分析与设计 | 第64-73页 |
| 3.7.1 事件触发分析 | 第64-66页 |
| 3.7.2 软件状态图设计 | 第66-67页 |
| 3.7.3 状态转移机制的设计 | 第67-72页 |
| 3.7.4 异常处理机制的设计 | 第72-73页 |
| 3.8 系统状态转移机制仿真分析 | 第73-75页 |
| 3.8.1 系统仿真原理 | 第73-74页 |
| 3.8.2 仿真结果分析 | 第74-75页 |
| 3.9 本章小结 | 第75-76页 |
| 第4章 基于FSM的MCS控制系统的运行和测试 | 第76-84页 |
| 4.1 系统软硬件集成 | 第76-77页 |
| 4.2 系统操作流程 | 第77页 |
| 4.3 系统运行界面显示 | 第77-80页 |
| 4.4 系统主要模块的运行测试 | 第80-83页 |
| 4.4.1 测试环境 | 第80页 |
| 4.4.2 测试方法 | 第80-81页 |
| 4.4.3 测试结果 | 第81-83页 |
| 4.5 本章小结 | 第83-84页 |
| 第5章 总结和展望 | 第84-86页 |
| 5.1 总结 | 第84-85页 |
| 5.2 展望 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-91页 |
| 作者简历 | 第91页 |