半解析法和半经验法在SOI和MOSFET建模中的研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 传统MOSFET的发展和挑战 | 第9-11页 |
| 1.2 SOI MOSFET结构和特点 | 第11-12页 |
| 1.3 SOI技术研究和发展现状 | 第12页 |
| 1.4 本文的研究意义和方法 | 第12-14页 |
| 1.5 各章节内容介绍 | 第14-16页 |
| 第2章 SOI MOSFET二维半解析模型 | 第16-30页 |
| 2.1 经典SOI解析模型 | 第18-21页 |
| 2.2 全耗尽SOI的二维半解析模型 | 第21-25页 |
| 2.3 高k+SiO_2栅SOI的二维半解析模型 | 第25-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 半解析模型的求解 | 第30-37页 |
| 3.1 二维边界值问题的解 | 第30-33页 |
| 3.2 解的线性代数方程组 | 第33-34页 |
| 3.3 模型电势对比 | 第34-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 阈值电压半解析模型 | 第37-52页 |
| 4.1 解阈值电压的求解 | 第37-41页 |
| 4.2 阈值电压分析比较 | 第41-47页 |
| 4.3 DIBL效应 | 第47-49页 |
| 4.4 量子效应 | 第49-51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 MOSFET电阻的半经验模型 | 第52-62页 |
| 5.1 半经验公式 | 第52-56页 |
| 5.2 多元线性回归方法 | 第56-57页 |
| 5.3 模型结果比较 | 第57-61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第6章 总结和展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第68页 |
| 参与的科研项目 | 第68页 |
