Si基微结构CO气体传感器微系统的设计
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 微结构气体传感器发展及研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 微结构气体传感器发展 | 第11-13页 |
| 1.2.2 国内外研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3 课题主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 传感器结构设计及仿真 | 第16-31页 |
| 2.1 设计要求及分析 | 第16-19页 |
| 2.1.1 结构组成分析 | 第16-17页 |
| 2.1.2 敏感机理分析 | 第17页 |
| 2.1.3 ZnO气敏机理 | 第17-19页 |
| 2.2 有限元热理论分析 | 第19-21页 |
| 2.3 气体传感器结构设计 | 第21-27页 |
| 2.3.1 结构初步设计及仿真 | 第21-24页 |
| 2.3.2 结构优化及仿真 | 第24-26页 |
| 2.3.3 传感器结构改进 | 第26-27页 |
| 2.4 气体传感器有限元热分析 | 第27-30页 |
| 2.4.1 热对流分析 | 第27-28页 |
| 2.4.2 热辐射分析 | 第28-29页 |
| 2.4.3 热应力分析 | 第29-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 传感器工艺及变送电路设计 | 第31-43页 |
| 3.1 传感器工艺 | 第31-40页 |
| 3.1.1 微电极制备 | 第31-36页 |
| 3.1.2 敏感材料制备 | 第36-39页 |
| 3.1.3 传感器制备 | 第39-40页 |
| 3.2 变送电路设计 | 第40-42页 |
| 3.2.1 温控电路设计 | 第40-41页 |
| 3.2.2 加热电路设计 | 第41页 |
| 3.2.3 气体浓度信号调理电路设计 | 第41-42页 |
| 3.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 传感器性能测试与分析 | 第43-51页 |
| 4.1 气体传感器的主要性能参数 | 第43-44页 |
| 4.2 系统测试 | 第44-50页 |
| 4.2.1 温度特性 | 第44-45页 |
| 4.2.2 浓度特性 | 第45-46页 |
| 4.2.3 响应-恢复特性 | 第46-47页 |
| 4.2.4 一致性 | 第47-48页 |
| 4.2.5 重复性 | 第48-50页 |
| 4.2.6 分辨力 | 第50页 |
| 4.3 测试存在问题及响应改进思路 | 第50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 结论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |
