| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第8页 |
| 1.2 国内外微位移系统研究现状 | 第8-15页 |
| 1.2.1 对于迟滞与蠕变的研究 | 第10-13页 |
| 1.2.2 对于压电微位移系统的研究 | 第13-14页 |
| 1.2.3 对于微动扫描器特性与应用研究 | 第14-15页 |
| 1.3 本文主要工作 | 第15-17页 |
| 2 压电叠堆执行器与控制器设计方案 | 第17-24页 |
| 2.1 压电执行器 | 第17-20页 |
| 2.1.1 层叠结构的输出位移分析 | 第17-19页 |
| 2.1.2 机械放大结构与微动扫描器 | 第19-20页 |
| 2.2 控制器参数要求与方案设计 | 第20-22页 |
| 2.3 微动扫描器驱动控制工作原理 | 第22-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 3 微动扫描平台控制器硬件设计 | 第24-36页 |
| 3.1 主控模块设计 | 第24-27页 |
| 3.1.1 MSP430系列单片机简介 | 第24-25页 |
| 3.1.2 D/A扩展 | 第25-27页 |
| 3.2 驱动信号放大模块设计 | 第27-30页 |
| 3.2.1 放大器件选型 | 第27-28页 |
| 3.2.2 驱动电路硬件实现 | 第28-30页 |
| 3.3 位移反馈模块设计 | 第30-35页 |
| 3.3.1 位移检测方法 | 第30-32页 |
| 3.3.2 芯片选型 | 第32-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 微动扫描平台控制器软件设计与PID算法仿真 | 第36-55页 |
| 4.1 嵌入式软件编译环境与仿真器介绍 | 第36-37页 |
| 4.1.1 IAR嵌入式开发环境界面 | 第36-37页 |
| 4.1.2 MSP-FET430UIF仿真器的介绍 | 第37页 |
| 4.2 微动扫描控制器的工作流程设计 | 第37-38页 |
| 4.3 程序设计思想 | 第38-43页 |
| 4.3.1 时钟模块程序设计 | 第39-40页 |
| 4.3.2 内部DAC模块程序设计 | 第40-42页 |
| 4.3.3 外部DAC模块程序设计 | 第42页 |
| 4.3.4 内部ADC模块程序设计 | 第42-43页 |
| 4.3.5 PID控制算法模块程序设计 | 第43页 |
| 4.4 控制算法仿真 | 第43-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 5 控制器性能测试与优化 | 第55-67页 |
| 5.1 控制器调试 | 第55-58页 |
| 5.2 主控制电路板驱动电源功率测试 | 第58-61页 |
| 5.3 单通道峰值电流测试 | 第61-63页 |
| 5.4 反馈电压上升段毛刺电压优化 | 第63-64页 |
| 5.5 位移控制效果测试 | 第64-66页 |
| 5.6 本章小结 | 第66-67页 |
| 结论与展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |