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聚酰亚胺基热敏元件制备与性能研究

中文摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第9-14页
    1.1 薄膜热电偶温度传感器技术简介第9-12页
        1.1.1 薄膜热电偶温度传感器工作原理第9-11页
        1.1.2 薄膜热电偶温度传感器的关键技术第11-12页
    1.2 薄膜热电偶温度传感器的发展趋势第12-13页
    1.3 本论文研究的目的及开展的工作第13页
    1.4 本章小结第13-14页
第2章 聚酰亚胺材料概述第14-19页
    2.1 聚酰亚胺材料研究的背景和意义第14-15页
    2.2 聚酰亚胺制备方法第15-16页
    2.3 聚酰亚胺的特性第16-17页
    2.4 聚酰亚胺在薄膜热电偶传感器中的应用第17-18页
    2.5 本章小结第18-19页
第3章 聚酰亚胺基热敏元件制备工艺及材料表征第19-29页
    3.1 聚酰亚胺基温度传感器的基本结构第19-20页
    3.3 聚酰亚胺基温度传感器的制备及材料表征第20-28页
        3.3.1 薄膜制备技术第20-24页
        3.3.2 薄膜表征技术第24-28页
    3.4 本章小结第28-29页
第4章 聚酰亚胺基温度传感器性能模拟第29-50页
    4.1 Ansys Workbench软件简介第29页
    4.2 聚酰亚胺基温度传感器特性仿真第29-49页
        4.2.1 聚酰亚胺基热敏元件热学仿真分析第29-37页
        4.2.2 聚酰亚胺基热敏元件热电特性仿真第37-49页
    4.3 本章小结第49-50页
第5章 聚酰亚胺基热敏元件的性能研究第50-62页
    5.1 薄膜热电偶的标定第50-52页
        5.1.1 薄膜热电偶的标定原理第50-51页
        5.1.2 薄膜热电偶的冷端补偿第51-52页
    5.2 聚酰亚胺基热电偶温度传感器的性能测试第52-59页
        5.2.1 聚酰亚胺基热电偶温度传感器的标定第52-55页
        5.2.2 线性度第55-56页
        5.2.3 迟滞第56-57页
        5.2.4 稳定性第57-58页
        5.2.5 灵敏度第58-59页
    5.3 聚酰亚胺基温度传感器测温实验第59-60页
    5.4 本章小结第60-62页
第6章 后续电路的设计研究第62-67页
    6.1 冷端补偿电路的设计第62-63页
    6.2 后续测控电路设计第63-66页
        6.2.1 单片机芯片的选择第63页
        6.2.2 A/D转换芯片的选择第63-64页
        6.2.3 运算放大器芯片的选择第64-65页
        6.2.4 定时器芯片的选择第65-66页
    6.3 本章小结第66-67页
结论第67-68页
参考文献第68-74页
致谢第74-75页
攻读学位期间发表论文第75-76页
附录 后续电路第76页

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