| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 气体传感器的发展概况 | 第10-13页 |
| 1.2.1 气体传感器的分类 | 第10-11页 |
| 1.2.2 气体传感器阵列的发展趋势 | 第11-13页 |
| 1.3 集成变送电路 | 第13-17页 |
| 1.3.1 集成变送电路的简介 | 第13-14页 |
| 1.3.2 电阻式气体传感器集成变送电路的发展 | 第14-17页 |
| 1.3.3 国内现状 | 第17页 |
| 1.4 本文研究意义及主要工作内容 | 第17-18页 |
| 第二章 电阻式气体传感器的理论 | 第18-25页 |
| 2.1 电阻式气体传感器的工作原理 | 第18-19页 |
| 2.2 气体传感器阵列的敏感材料 | 第19-20页 |
| 2.3 气体传感器阵列的噪声 | 第20-22页 |
| 2.4 电阻式气体传感器的准确度与动态范围 | 第22-23页 |
| 2.5 电阻式气体传感器集成变送电路的基本参数 | 第23-24页 |
| 2.6 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 电阻式气体传感器阵列的集成变送电路设计 | 第25-55页 |
| 3.1 气体传感器阵列信号处理系统 | 第25页 |
| 3.2 集成变送电路的结构 | 第25-32页 |
| 3.2.1 集成变送电路的常用结构 | 第25-28页 |
| 3.2.2 电阻式气体传感器的变送电路的结构 | 第28-32页 |
| 3.3 积分放大模式电路结构设计与仿真 | 第32-42页 |
| 3.3.1 积分放大电路工作原理 | 第32-34页 |
| 3.3.2 积分电路参数的确定 | 第34-35页 |
| 3.3.3 高性能运算放大器的设计 | 第35-39页 |
| 3.3.4 采样保持电路 | 第39-41页 |
| 3.3.5 积分放大模式电路仿真 | 第41-42页 |
| 3.4 跨阻放大模式电路结构设计与仿真 | 第42-44页 |
| 3.5 差动放大模式电路结构设计与仿真 | 第44-47页 |
| 3.5.1 电路参数的确定 | 第44-46页 |
| 3.5.2 输入电压产生电路 | 第46-47页 |
| 3.6 输出缓冲电路结构设计与性能仿真 | 第47-51页 |
| 3.7 带隙基准电路设计与仿真 | 第51-54页 |
| 3.8 本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 电阻式气体传感器的版图设计 | 第55-66页 |
| 4.1 CMOS工艺版图的简介 | 第55页 |
| 4.2 阵列的版图设计 | 第55-57页 |
| 4.3 电路的版图设计 | 第57-65页 |
| 4.3.1 积分放大模式的版图设计 | 第58-59页 |
| 4.3.2 跨阻放大模式的版图设计 | 第59-61页 |
| 4.3.3 差动放大模式的版图设计 | 第61页 |
| 4.3.4 带隙基准电压产生电路 | 第61-62页 |
| 4.3.5 输出缓冲电路 | 第62页 |
| 4.3.6 三种电路结构的整合 | 第62-63页 |
| 4.3.7 ESD保护 | 第63-64页 |
| 4.3.8 阵列与电路整合 | 第64-65页 |
| 4.4 流片结果 | 第65页 |
| 4.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 芯片的封装与测试 | 第66-78页 |
| 5.1 芯片的封装 | 第66-68页 |
| 5.2 芯片的测试 | 第68-77页 |
| 5.2.1 气敏电阻的制备 | 第68-70页 |
| 5.2.2 电阻式气体传感器阵列集成变送电路性能测试 | 第70-77页 |
| 5.3 本章小结 | 第77-78页 |
| 第六章 结论与展望 | 第78-80页 |
| 6.1 研究结论 | 第78页 |
| 6.2 未来展望 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-86页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第86-87页 |