ZrN基纳米多层膜的制备及其性能研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 纳米复合膜 | 第10页 |
| 1.3 纳米多层膜 | 第10-11页 |
| 1.4 纳米多层膜材料体系 | 第11-13页 |
| 1.4.1 同构纳米多层膜 | 第12页 |
| 1.4.2 非同构纳米多层膜 | 第12-13页 |
| 1.5 硬质薄膜制备方法 | 第13-16页 |
| 1.5.1 化学气相沉积（CVD） | 第13-14页 |
| 1.5.2 物理气相沉积（PVD） | 第14-16页 |
| 1.6 研究目的、意义与研究内容 | 第16-18页 |
| 2 薄膜的制备与检测 | 第18-23页 |
| 2.1 薄膜制备 | 第18-19页 |
| 2.1.1 镀膜设备 | 第18-19页 |
| 2.1.2 实验材料与试剂 | 第19页 |
| 2.1.3 薄膜制备 | 第19页 |
| 2.2 薄膜的检测 | 第19-23页 |
| 2.2.1 扫描电子显微镜微区分析 | 第19-20页 |
| 2.2.2 X射线衍射分析 | 第20页 |
| 2.2.3 台阶仪 | 第20页 |
| 2.2.4 纳米压痕 | 第20-21页 |
| 2.2.5 自动划痕仪 | 第21页 |
| 2.2.6 显微硬度计 | 第21页 |
| 2.2.7 高温销盘磨损试验仪 | 第21-23页 |
| 3 ZrN/CrAlN纳米多层膜性能研究 | 第23-32页 |
| 3.1 引言 | 第23页 |
| 3.2 实验 | 第23-25页 |
| 3.2.1 ZrN/CrAlN纳米多层膜的制备 | 第23-24页 |
| 3.2.2 ZrN/CrAlN纳米多层膜的表征 | 第24-25页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第25-31页 |
| 3.3.1 断面形貌与组织 | 第25-26页 |
| 3.3.2 薄膜硬度和韧性检测 | 第26-31页 |
| 3.4 结论 | 第31-32页 |
| 4 ZrN/VN多层膜性能研究 | 第32-48页 |
| 4.1 引言 | 第32页 |
| 4.2 实验 | 第32-34页 |
| 4.2.1 薄膜样品制备 | 第32-33页 |
| 4.2.2 薄膜样品检测 | 第33-34页 |
| 4.3 结果与分析 | 第34-47页 |
| 4.3.1 结构与成分分析 | 第34-37页 |
| 4.3.2 力学性能分析 | 第37-40页 |
| 4.3.3 摩擦性能分析 | 第40-47页 |
| 4.4 结论 | 第47-48页 |
| 5 结论与展望 | 第48-49页 |
| 5.1 结论 | 第48页 |
| 5.2 展望 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-56页 |
| 附录 | 第56页 |
| A 研究生期间发表的论文 | 第56页 |
| B 研究生期间申请的专利 | 第56页 |
