| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究动态 | 第11-13页 |
| 1.2.1 国外研究动态 | 第11-13页 |
| 1.2.2 国内研究动态 | 第13页 |
| 1.3 主要工作 | 第13-15页 |
| 第二章 MEMS振荡器的基本理论及分析 | 第15-28页 |
| 2.1 振荡器稳定振荡条件 | 第15-16页 |
| 2.1.1 Barkhausen准则 | 第15-16页 |
| 2.1.2 振荡器稳定条件 | 第16页 |
| 2.2 振荡器的相位噪声模型分析 | 第16-21页 |
| 2.2.1 Leeson线性时不变经验模型 | 第16-19页 |
| 2.2.2 Ali Hajimiri&Thomas H.Lee线性时变模型 | 第19-20页 |
| 2.2.3 Demir&Mehrotra非线性扰动模型 | 第20-21页 |
| 2.3 相位噪声与有载品质因数Q_L的关系分析 | 第21-24页 |
| 2.3.1 品质因数Q值的定义 | 第21-23页 |
| 2.3.2 有载品质因数Q_L对相位噪声的影响 | 第23-24页 |
| 2.4 MEMS谐振器参数对振荡电路性能的影响 | 第24-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 MEMS谐振器关键技术研究 | 第28-53页 |
| 3.1 谐振器的等效电路模型研究 | 第28-31页 |
| 3.1.1 换能器电路模型 | 第28-29页 |
| 3.1.2 MBVD模型 | 第29-30页 |
| 3.1.3 串联RLC模型 | 第30-31页 |
| 3.2 谐振器动态阻抗和Q值分析 | 第31-36页 |
| 3.2.1 动态阻抗分析 | 第31-34页 |
| 3.2.2 Q值分析 | 第34-36页 |
| 3.3 谐振器的加工技术分析 | 第36-40页 |
| 3.3.1 压电材料的选择 | 第36-37页 |
| 3.3.2 加工技术分析与比较 | 第37-38页 |
| 3.3.3 谐振器的工艺实现流程 | 第38-40页 |
| 3.4 长度扩展模体声波谐振器的设计 | 第40-49页 |
| 3.4.1 理论分析 | 第40-44页 |
| 3.4.2 谐振器的实现 | 第44-46页 |
| 3.4.3 谐振器的测试与数据分析 | 第46-49页 |
| 3.5 环形轮廓模谐振器的设计 | 第49-52页 |
| 3.5.1 理论分析 | 第49-51页 |
| 3.5.2 谐振器的实现 | 第51-52页 |
| 3.5.3 谐振器的测试 | 第52页 |
| 3.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 MEMS振荡器性能研究 | 第53-67页 |
| 4.1 谐振器的等效参数提取 | 第53-57页 |
| 4.2 MEMS振荡器电路结构设计 | 第57-59页 |
| 4.2.1 MEMS振荡器基本结构 | 第57-59页 |
| 4.2.2 MEMS振荡器电路结构的选择 | 第59页 |
| 4.3 MEMS振荡器的设计 | 第59-64页 |
| 4.3.1 电容三点式变形振荡电路 | 第59-61页 |
| 4.3.2 希格纳振荡电路 | 第61-64页 |
| 4.4 测试结果及分析 | 第64-66页 |
| 4.5 本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 MEMS振荡器在频率源中的应用 | 第67-75页 |
| 5.1 频率合成简介 | 第67-69页 |
| 5.2 频率源的仿真设计 | 第69-74页 |
| 5.2.1 锁相环技术基本原理 | 第69-72页 |
| 5.2.2 频率源的仿真设计 | 第72-74页 |
| 5.3 本章小结 | 第74-75页 |
| 第六章 总结与展望 | 第75-76页 |
| 6.1 全文总结 | 第75页 |
| 6.2 存在的不足与展望 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第81页 |