| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第12-29页 |
| 1.1 引言 | 第12页 |
| 1.2 硬质薄膜的分类 | 第12-14页 |
| 1.2.1 本征硬质薄膜 | 第13页 |
| 1.2.2 微结构强化硬质薄膜 | 第13-14页 |
| 1.3 纳米多层膜 | 第14-20页 |
| 1.3.1 纳米多层膜的基本概念 | 第14-15页 |
| 1.3.2 纳米多层膜的结构分类 | 第15-16页 |
| 1.3.3 纳米多层膜的强化理论 | 第16-17页 |
| 1.3.4 纳米多层膜中的非晶晶化与模板效应 | 第17-20页 |
| 1.4 纳米多层膜的高温稳定性研究 | 第20-22页 |
| 1.5 论文的研究内容 | 第22-24页 |
| 参考文献 | 第24-29页 |
| 第二章 薄膜制备与检测 | 第29-43页 |
| 2.1 薄膜制备原理及设备 | 第29-35页 |
| 2.1.1 磁控溅射镀膜原理 | 第29-34页 |
| 2.1.2 磁控溅射镀膜设备 | 第34-35页 |
| 2.1.3 高温退火实验设备 | 第35页 |
| 2.2 薄膜检测方法及设备 | 第35-42页 |
| 参考文献 | 第42-43页 |
| 第三章反应溅射VN/Si0_2纳米多层膜生长结构与力学性能 | 第43-57页 |
| 3.1 引言 | 第43-44页 |
| 3.2 反应溅射VN/Si0_2纳米多层膜的制备 | 第44-47页 |
| 3.3 实验结果 | 第47-52页 |
| 3.4 讨论 | 第52-53页 |
| 3.5 本章小结 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 第四章 反应溅射TiAlN/Si_3N_4纳米多层膜的力学性能与高温抗氧化性 | 第57-70页 |
| 4.1 实验过程 | 第57-59页 |
| 4.2 结果与讨论 | 第59-67页 |
| 4.3 本章小结 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |
| 第五章结论 | 第70-72页 |
| 攻读硕士期间发表论文及申请专利 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |