| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 注释表 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| 1.1 课题背景 | 第12页 |
| 1.2 电铸技术的发展与现状 | 第12-17页 |
| 1.2.1 电铸技术发展趋势 | 第13-14页 |
| 1.2.2 电铸材料多样化 | 第14页 |
| 1.2.3 微细电铸发展概述 | 第14-15页 |
| 1.2.4 LIGA技术与UV-LIGA技术简介 | 第15-17页 |
| 1.2.4.1 LIGA技术简介 | 第15-16页 |
| 1.2.4.2 UV-LIGA技术简介 | 第16-17页 |
| 1.3 微细电铸金的发展与现状 | 第17-21页 |
| 1.3.1 氰化物体系金溶液 | 第17-18页 |
| 1.3.2 亚硫酸盐体系金溶液 | 第18-19页 |
| 1.3.3 硫代硫酸盐体系金溶液 | 第19-20页 |
| 1.3.4 亚硫酸盐—硫代硫酸盐混合体系金溶液 | 第20页 |
| 1.3.5 柠檬酸盐体系金溶液 | 第20-21页 |
| 1.4 课题研究的意义与主要内容 | 第21-23页 |
| 第二章 试验总体设计与光刻工艺研究 | 第23-38页 |
| 2.1 试验总体方案介绍 | 第23-24页 |
| 2.2 SU-8 干膜光刻胶光刻工艺基本原理 | 第24-25页 |
| 2.2.1 SU-8 光刻胶简介及光刻原理简介 | 第24-25页 |
| 2.2.2 SU-8 干膜光刻胶的特点 | 第25页 |
| 2.3 SU-8 干膜光刻胶光刻工艺试验研究 | 第25-37页 |
| 2.3.1 基片的选择与预处理 | 第26-27页 |
| 2.3.2 覆膜 | 第27-29页 |
| 2.3.2.1 覆膜设备和操作 | 第27页 |
| 2.3.2.2 覆膜预热温度的选择 | 第27-28页 |
| 2.3.2.3 覆膜注意事项 | 第28-29页 |
| 2.3.3 前烘 | 第29-31页 |
| 2.3.4 曝光 | 第31-33页 |
| 2.3.4.1 曝光工艺简介 | 第31-32页 |
| 2.3.4.2 曝光参数的选择与优化 | 第32-33页 |
| 2.3.5 后烘 | 第33-35页 |
| 2.3.6 显影 | 第35-36页 |
| 2.3.7 光刻工艺总结 | 第36-37页 |
| 2.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 柠檬酸金钾电铸微小金结构 | 第38-50页 |
| 3.1 微小金结构电铸工艺概述 | 第38-39页 |
| 3.1.1 微小金结构电铸原理 | 第38页 |
| 3.1.2 微小金结构电铸工艺特点 | 第38-39页 |
| 3.1.3 电铸层的特点 | 第39页 |
| 3.2 电铸微小金结构方案设计与设备 | 第39-43页 |
| 3.2.1 冲液方式与冲液装置简介 | 第39-40页 |
| 3.2.2 冲液装置简介 | 第40-43页 |
| 3.2.3 试验使用的仪器设备 | 第43页 |
| 3.3 基于柠檬酸金钾溶液正冲电铸微小金结构工艺试验 | 第43-48页 |
| 3.3.1 电流密度对铸层质量的影响 | 第43-46页 |
| 3.3.2 冲液流量与阴阳极间距对电铸质量的影响 | 第46-48页 |
| 3.4 其他因素对电铸微小金结构的影响 | 第48-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 柠檬酸金钾溶液性能研究与检测 | 第50-64页 |
| 4.1 柠檬酸金钾及其溶液简介 | 第50页 |
| 4.2 柠檬酸金钾可添加性测试及氰离子浓度检测 | 第50-52页 |
| 4.2.1 可添加性测试 | 第50-52页 |
| 4.2.2 氰离子浓度检测 | 第52页 |
| 4.3 柠檬酸金钾溶液分散性能研究 | 第52-57页 |
| 4.3.1 哈林阴极法 | 第53-54页 |
| 4.3.2 弯曲阴极法 | 第54-55页 |
| 4.3.3 霍尔槽试验法 | 第55页 |
| 4.3.4 柠檬酸金钾分散性能测试 | 第55-57页 |
| 4.4 柠檬酸金钾溶液老化试验 | 第57-60页 |
| 4.4.1 静置稳定性试验 | 第57-58页 |
| 4.4.2 溶液加速老化试验 | 第58-60页 |
| 4.5 柠檬酸金钾溶液电沉积层性能检测 | 第60-63页 |
| 4.5.1 沉积层金纯度检测 | 第60页 |
| 4.5.2 努氏硬度检测 | 第60-61页 |
| 4.5.3 表面质量检测 | 第61-62页 |
| 4.5.4 耐腐蚀性检测 | 第62-63页 |
| 4.6 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 总结与展望 | 第64-65页 |
| 5.1 论文总结 | 第64页 |
| 5.2 后期工作展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 在学期间发表的学术论文 | 第70页 |