| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题研究的背景及研究目的和意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外的相关研究 | 第11-17页 |
| 1.2.1 硅片传输机器人发展历史 | 第11-12页 |
| 1.2.2 硅片传输机器人的研究现状 | 第12-15页 |
| 1.2.3 机器人轨迹规划的研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3 本文主要研究内容及章节安排 | 第17-18页 |
| 1.4 本章小结 | 第18-19页 |
| 第2章 运动学与动力学模型建立与分析 | 第19-30页 |
| 2.1 硅片传输机器人结构分析 | 第19-21页 |
| 2.2 硅片传输机器人运动学模型建立 | 第21-25页 |
| 2.3 硅片传输机器人动力学模型建立 | 第25-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-30页 |
| 第3章 硅片传输机器人轨迹规划研究 | 第30-59页 |
| 3.1 机器人轨迹规划总体思路 | 第30-31页 |
| 3.1.1 关节空间规划方法 | 第30页 |
| 3.1.2 笛卡尔空间规划方法 | 第30-31页 |
| 3.2 时间最优轨迹规划 | 第31-45页 |
| 3.2.1 动力学参数化变换 | 第32-33页 |
| 3.2.2 机器人运动约束 | 第33-34页 |
| 3.2.3 基于数值积分法的时间最优轨迹规划算法 | 第34-39页 |
| 3.2.4 时间最优轨迹规划仿真 | 第39-45页 |
| 3.3 基于凸优化方法的光滑时间最优轨迹规划 | 第45-58页 |
| 3.3.1 非线性变换 | 第45-47页 |
| 3.3.2 光滑时间最优轨迹规划问题数值求解 | 第47-51页 |
| 3.3.3 光滑时间最优轨迹规划仿真 | 第51-58页 |
| 3.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第4章 控制系统软硬件平台设计与实现 | 第59-91页 |
| 4.1 控制系统总体方案 | 第59-60页 |
| 4.2 基于PCIe总线的运动控制板卡设计 | 第60-83页 |
| 4.2.1 板卡总体设计 | 第60-63页 |
| 4.2.2 板卡各模块电路设计 | 第63-72页 |
| 4.2.3 板卡PCB设计 | 第72-79页 |
| 4.2.4 FPGA逻辑设计 | 第79-83页 |
| 4.3 基于RTX的软件平台设计 | 第83-90页 |
| 4.3.1 软件整体架构 | 第84-85页 |
| 4.3.2 RTX环境下PCIe板卡实时驱动的开发 | 第85-88页 |
| 4.3.3 实时控制程序的开发 | 第88-89页 |
| 4.3.4 控制系统调试界面程序 | 第89-90页 |
| 4.4 本章小结 | 第90-91页 |
| 第5章 硅片传输机器人轨迹规划实验 | 第91-95页 |
| 5.1 硅片传输机器人控制系统调试现场 | 第91-92页 |
| 5.2 单轴电机控制结果 | 第92-93页 |
| 5.3 轨迹规划实现 | 第93-94页 |
| 5.4 本章小结 | 第94-95页 |
| 结论 | 第95-97页 |
| 参考文献 | 第97-101页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第101-103页 |
| 致谢 | 第103页 |