自由曲面的投影式激光振镜扫描刻蚀误差分析与工艺研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 微结构图形加工的方法简介 | 第11页 |
| 1.3 激光精密刻蚀技术发展现状 | 第11-17页 |
| 1.4 本文主要研究内容与技术路线 | 第17-19页 |
| 2 自由曲面的投影式激光振镜扫描刻蚀技术 | 第19-34页 |
| 2.1 自由曲面投影式激光刻蚀技术原理 | 第19-20页 |
| 2.2 自由曲面投影式激光振镜扫描刻蚀方法 | 第20-23页 |
| 2.3 LPAGS自由曲面的划分准则 | 第23-28页 |
| 2.4 自由曲面投影式激光刻蚀系统 | 第28-33页 |
| 2.5 本章总结 | 第33-34页 |
| 3 投影式激光振镜扫描刻蚀拼接误差分析 | 第34-81页 |
| 3.1 投影式激光振镜扫描刻蚀误差源分析 | 第34-55页 |
| 3.2 投影式激光振镜扫描刻蚀系统误差测量、校正 | 第55-63页 |
| 3.3 投影式激光振镜扫描刻蚀拼接误差分析 | 第63-68页 |
| 3.4 投影式激光振镜扫描刻蚀加工实验 | 第68-80页 |
| 3.5 本章小结 | 第80-81页 |
| 4 投影式激光振镜扫描刻蚀基础实验研究 | 第81-107页 |
| 4.1 前言 | 第81页 |
| 4.2 激光曲面刻蚀光斑尺寸、能量密度变化的研究 | 第81-89页 |
| 4.3 激光曲面刻蚀尺寸精度和质量的研究 | 第89-94页 |
| 4.4 正交试验 | 第94-100页 |
| 4.5 曲面分块加工 | 第100-103页 |
| 4.6 曲面分片加工 | 第103-106页 |
| 4.7 本章小结 | 第106-107页 |
| 5 总结与展望 | 第107-109页 |
| 5.1 本文总结 | 第107-108页 |
| 5.2 展望与建议 | 第108-109页 |
| 致谢 | 第109-110页 |
| 参考文献 | 第110-114页 |
