| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.1.1 课题的来源 | 第10页 |
| 1.1.2 课题研究的背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 压电驱动器的国内外研究现状及分析 | 第11-18页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第15-18页 |
| 1.2.3 国内外文献综述的简析 | 第18页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 步进蠕动式压电驱动器致动原理和结构方案分析 | 第20-32页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 压电元件特性 | 第20-21页 |
| 2.3 步进蠕动式压电驱动器致动原理 | 第21-23页 |
| 2.4 步进蠕动式精密压电驱动器的结构方案 | 第23-27页 |
| 2.4.1 压电驱动器基本结构 | 第23-24页 |
| 2.4.2 压电元件材料 | 第24-26页 |
| 2.4.3 金属材料和结构优化 | 第26-27页 |
| 2.5 步进蠕动式精密压电驱动器仿真分析 | 第27-30页 |
| 2.5.1 静力学特性仿真分析 | 第27-28页 |
| 2.5.2 模态特性仿真分析 | 第28-30页 |
| 2.5.3 瞬态特性仿真分析 | 第30页 |
| 2.6 压电元件等效电路建立 | 第30-31页 |
| 2.7 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 基于步进蠕动式压电驱动器原理的驱动电源设计与研制 | 第32-50页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 驱动电源设计要求及技术指标 | 第32-33页 |
| 3.3 驱动电源系统结构 | 第33-34页 |
| 3.4 驱动电源硬件部分 | 第34-42页 |
| 3.4.1 控制电路部分 | 第35-37页 |
| 3.4.2 高压电路部分 | 第37-38页 |
| 3.4.3 驱动电路部分 | 第38-40页 |
| 3.4.4 基本稳压电路部分 | 第40-42页 |
| 3.5 驱动电源软件部分 | 第42-47页 |
| 3.5.1 频率可变控制信号 | 第42-44页 |
| 3.5.2 电压采集 | 第44页 |
| 3.5.3 LED显示 | 第44-45页 |
| 3.5.4 串口通信 | 第45-47页 |
| 3.6 电源设计与测量结果 | 第47-49页 |
| 3.7 本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 步进蠕动式压电驱动器的实验系统和性能测试 | 第50-66页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 实验样机与实验测试平台 | 第50-52页 |
| 4.2.1 步进蠕动式精密压电驱动器样机 | 第50-51页 |
| 4.2.2 实验平台系统装置 | 第51-52页 |
| 4.3 压电驱动器阻抗测试与分析 | 第52-54页 |
| 4.3.1 压电驱动器阻抗测试 | 第52-53页 |
| 4.3.2 压电驱动器阻抗分析 | 第53-54页 |
| 4.4 压电驱动器空载特性测试 | 第54-59页 |
| 4.4.1 压电驱动器重复性测试 | 第54-56页 |
| 4.4.2 压电驱动器响应时间测试 | 第56-58页 |
| 4.4.3 压电驱动器步距与电压的关系 | 第58-59页 |
| 4.5 压电驱动器实验平台特性测试 | 第59-63页 |
| 4.5.1 实验平台的箝位力及分析 | 第59-60页 |
| 4.5.2 实验平台输出曲线 | 第60-61页 |
| 4.5.3 实验平台速度与电压的关系 | 第61-62页 |
| 4.5.4 实验平台速度与频率的关系 | 第62-63页 |
| 4.6 压电驱动器性能测试分析 | 第63-65页 |
| 4.6.1 仿真与实验比较 | 第63-64页 |
| 4.6.2 实验测量结果分析 | 第64-65页 |
| 4.7 本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75页 |