彩色共聚焦测量系统光学设计与实验研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 引言 | 第10-20页 |
| 1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.2 课题背景 | 第10-11页 |
| 1.3 彩色共聚焦国外研究现状 | 第11-16页 |
| 1.4 彩色共聚焦国内研究现状 | 第16-17页 |
| 1.5 课题研究思路 | 第17-18页 |
| 1.6 本文主要内容 | 第18-20页 |
| 第2章 彩色共聚焦测量原理 | 第20-30页 |
| 2.1 彩色共聚焦与激光共聚焦的测量原理 | 第20-24页 |
| 2.2 彩色共聚焦系统性能分析 | 第24-28页 |
| 2.2.1 物镜数值孔径 | 第24-25页 |
| 2.2.2 小孔直径 | 第25-26页 |
| 2.2.3 中心波长提取 | 第26-27页 |
| 2.2.4 色散特性 | 第27-28页 |
| 2.3 本章小结 | 第28-30页 |
| 第3章 色散物镜设计与验证 | 第30-54页 |
| 3.1 色散物镜设计主要参数 | 第30-35页 |
| 3.1.1 元件色散方式 | 第30-32页 |
| 3.1.2 色散特性 | 第32-33页 |
| 3.1.3 单色像差 | 第33-34页 |
| 3.1.4 数值孔径 | 第34-35页 |
| 3.2 色散物镜设计 | 第35-40页 |
| 3.2.1 初始结构选择 | 第35-37页 |
| 3.2.2 ZEMAX设计仿真 | 第37-40页 |
| 3.2.3 设计仿真结果分析 | 第40页 |
| 3.3 可调制性能色散物镜设计 | 第40-43页 |
| 3.3.1 色散和聚焦分离的分析 | 第41-42页 |
| 3.3.2 可调制设计方案 | 第42-43页 |
| 3.4 色散管镜设计 | 第43-47页 |
| 3.4.1 色散管镜参数分析 | 第43-45页 |
| 3.4.2 色散管镜装配 | 第45-47页 |
| 3.5 色散物镜实验 | 第47-53页 |
| 3.5.1 实验平台 | 第47-49页 |
| 3.5.2 色散管镜色散特性 | 第49-50页 |
| 3.5.3 色散管镜与聚焦物镜结合可行性测试 | 第50-51页 |
| 3.5.4 色散管镜结合聚焦物镜分辨率实验 | 第51-53页 |
| 3.6 本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 彩色共聚焦系统搭建 | 第54-70页 |
| 4.1 系统描述 | 第54-55页 |
| 4.2 系统硬件选型与组装 | 第55-60页 |
| 4.3 系统轴向标定 | 第60-68页 |
| 4.3.1 标定实验设计 | 第60-61页 |
| 4.3.2 中心波长提取 | 第61-64页 |
| 4.3.3 轴向位移波长曲线拟合 | 第64-67页 |
| 4.3.4 轴向标定精度分析 | 第67-68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 第5章 彩色共聚焦测量系统实验研究与分析 | 第70-82页 |
| 5.1 量块阶梯高度测量 | 第70-74页 |
| 5.1.1 倾斜补偿 | 第71页 |
| 5.1.2 测量结果 | 第71-73页 |
| 5.1.3 边缘失真矫正 | 第73-74页 |
| 5.2 中心波长提取算法分析 | 第74-81页 |
| 5.2.1 算法阈值的影响 | 第76-79页 |
| 5.2.2 改进的质心算法 | 第79-81页 |
| 5.3 本章小结 | 第81-82页 |
| 第6章 总结与展望 | 第82-84页 |
| 6.1 全文总结 | 第82-83页 |
| 6.2 本文的主要创新点 | 第83页 |
| 6.3 展望 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-88页 |
| 致谢 | 第88-90页 |
| 个人简历、在校期间发表学术论文和研究成果 | 第90页 |
