| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-11页 |
| ·传感器的地位和作用 | 第8-9页 |
| ·湿度传感器的研究背景 | 第9-10页 |
| ·本论文的主要工作内容 | 第10-11页 |
| 第二章 传感器的概述及分类 | 第11-24页 |
| ·传感器的基本特性与主要性能指标 | 第11-14页 |
| ·传感器的静态特性 | 第11-14页 |
| ·传感器的动态特性 | 第14页 |
| ·传感器的分类 | 第14页 |
| ·湿度传感器 | 第14-19页 |
| ·湿度及其表示方法 | 第15-16页 |
| ·湿度的测量 | 第16-19页 |
| ·湿度传感器的特性 | 第19-23页 |
| ·湿度传感器的特性参数 | 第19-21页 |
| ·湿度传感器的种类 | 第21-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 CMOS工艺电容型湿度传感器的设计 | 第24-37页 |
| ·电容型湿度传感器的结构设计 | 第24-26页 |
| ·叉指结构电容型湿度传感器 | 第24-25页 |
| ·三明治结构电容型湿度传感器 | 第25-26页 |
| ·传感器感湿介质材料的选择 | 第26-28页 |
| ·空气作为感湿介质 | 第26页 |
| ·多孔硅/多孔铝作为感湿介质 | 第26-27页 |
| ·聚酰亚胺作为感湿介质 | 第27-28页 |
| ·纳米材料感湿介质 | 第28页 |
| ·聚酰亚胺薄膜感湿机理的物理模型 | 第28-30页 |
| ·电容型湿度传感器结构的模拟分析 | 第30-35页 |
| ·电势、电场的分布 | 第30-32页 |
| ·升湿和降湿过程中各区水分子数量的动态变化 | 第32-34页 |
| ·动态响应过程的表征 | 第34-35页 |
| ·电容湿度传感器上电极图形版图的优化设计 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 湿度传感器的CMOS制作工艺 | 第37-48页 |
| ·聚酰胺酸的合成 | 第37-38页 |
| ·聚酰亚胺电容式湿度传感器的制备 | 第38-46页 |
| ·工艺总结 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 测试结果与讨论 | 第48-62页 |
| ·湿度传感器的测试环境与测试方法 | 第48-49页 |
| ·测试内容 | 第49-50页 |
| ·测试结果与讨论 | 第50-56页 |
| ·电容-相对湿度特性 | 第50-52页 |
| ·灵敏度与湿滞特性 | 第52-53页 |
| ·响应时间 | 第53-56页 |
| ·结论 | 第56-57页 |
| ·采用可溶性聚酰亚胺作为感湿介质的尝试及出现问题的分析 | 第57-60页 |
| ·聚酰亚胺薄膜的制备 | 第57页 |
| ·测试与寸论 | 第57-60页 |
| ·SEM测试结果 | 第58-59页 |
| ·PI薄膜EDS分析 | 第59-60页 |
| ·PI薄膜元素面分布 | 第60页 |
| ·全文总结 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 在学期间的研究成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |