| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-22页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·太赫兹波简介 | 第10页 |
| ·太赫兹研究现状 | 第10-14页 |
| ·太赫兹波源发展现状 | 第11-12页 |
| ·太赫兹探测器发展现状 | 第12-13页 |
| ·太赫兹功能器件研究现状 | 第13-14页 |
| ·太赫兹可控功能器件的研究现状 | 第14-21页 |
| ·基于材料特性变化的太赫兹功能器件 | 第14-18页 |
| ·基于结构形变的太赫兹功能器件 | 第18-21页 |
| ·本文主要研究内容 | 第21-22页 |
| 第2章 双层SRR可动悬臂阵列仿真以及物理分析 | 第22-28页 |
| ·结构设计 | 第22-23页 |
| ·仿真结果和讨论 | 第23-27页 |
| ·温度变化对悬臂曲率半径的影响 | 第23-24页 |
| ·透射参数仿真结果和讨论 | 第24-25页 |
| ·电场强度和表面电流分布 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章Ni Ti形状记忆合金特性及设计仿真 | 第28-37页 |
| ·形状记忆效应 | 第28-29页 |
| ·Ni Ti合金的相变特性以及物理性能 | 第29-31页 |
| ·Ni Ti合金的相变特性 | 第29页 |
| ·Ni Ti合金的物理性能 | 第29-31页 |
| ·形状记忆合金和普通金属的比较 | 第31-32页 |
| ·形状记忆合金和普通金属的共同点 | 第31页 |
| ·形状记忆合金和普通金属的差别 | 第31-32页 |
| ·Ni Ti合金结构设计 | 第32-33页 |
| ·Ni Ti合金仿真结果和讨论 | 第33-36页 |
| ·Ni Ti合金和Si O2 厚度变化对曲率半径的影响 | 第33-34页 |
| ·Ni Ti结构透射曲线以及电场电流分布图 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章SRR可动悬臂阵列（Ni Ti和Si O2）的制备及表征 | 第37-52页 |
| ·引言 | 第37-38页 |
| ·制备工艺 | 第38-47页 |
| ·靶材选择 | 第38页 |
| ·基底准备 | 第38-39页 |
| ·磁控溅射镀Ni Ti薄膜 | 第39-40页 |
| ·匀胶 | 第40页 |
| ·对准和曝光 | 第40-41页 |
| ·显影 | 第41-42页 |
| ·后烘 | 第42页 |
| ·显影后检查 | 第42页 |
| ·刻蚀 | 第42-47页 |
| ·形状记忆效应表征 | 第47-49页 |
| ·太赫兹时域光谱（THz-TDS）测试 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 结束语 | 第52-54页 |
| ·本文主要工作 | 第52页 |
| ·需要进一步解决的问题 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-59页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第5页 |