红外光学镜头中衍射元件的设计加工及检测
| 致谢 | 第1-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第8-9页 |
| ·衍射光学的国内外发展概况 | 第9-12页 |
| ·衍射元件制作工艺概况 | 第12页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第二章 衍射光学理论基础 | 第14-22页 |
| ·标量衍射理论 | 第14-15页 |
| ·矢量衍射理论 | 第15页 |
| ·衍射元件的相位特性 | 第15-17页 |
| ·衍射元件的衍射效率分析 | 第17-18页 |
| ·衍射光学元件的热特性和色散特性 | 第18-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 反衍混合红外光学系统设计 | 第22-32页 |
| ·红外光学系统 | 第22-23页 |
| ·红外光学系统一般特点 | 第22页 |
| ·光学系统组成及特点 | 第22-23页 |
| ·技术指标要求 | 第23页 |
| ·光学设计结果 | 第23-24页 |
| ·光学系统的像质 | 第24-27页 |
| ·点列图 | 第24-25页 |
| ·能量集中度 | 第25-26页 |
| ·光学调制传递函数 | 第26-27页 |
| ·衍射面位相分布 | 第27页 |
| ·公差分析 | 第27-29页 |
| ·系统公差计算 | 第28页 |
| ·次镜移动对后工作距离的影响 | 第28-29页 |
| ·热分析 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 衍射光学元件的加工 | 第32-48页 |
| ·衍射元件加工方法概述 | 第32-39页 |
| ·光刻技术 | 第32-33页 |
| ·薄膜沉积技术 | 第33-34页 |
| ·准分子激光加工技术 | 第34-35页 |
| ·直写技术 | 第35-37页 |
| ·灰阶掩模技术 | 第37-38页 |
| ·单点金刚石车削技术 | 第38-39页 |
| ·衍射元件面型仿真 | 第39-40页 |
| ·遮挡效应分析 | 第40-42页 |
| ·刀具形状对表面散射的影响 | 第42-44页 |
| ·衍射光学元件的制作 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章衍射光学元件的检测 | 第48-58页 |
| ·微观表面检测技术概述 | 第48-49页 |
| ·接触式测量方法 | 第48页 |
| ·非接触式测量方法 | 第48-49页 |
| ·衍射元件微结构检测 | 第49-54页 |
| ·白光干涉仪介绍 | 第49-50页 |
| ·检测结果 | 第50-54页 |
| ·实验结果分析 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第六章 总结与展望 | 第58-60页 |
| ·总结 | 第58-59页 |
| ·展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第63-6页 |
