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钛基掺硼金刚石薄膜电极的制备与电化学研究

摘要第1-6页
Abstract第6-12页
第一章 绪论第12-26页
   ·引言第12页
   ·金刚石的结构第12-13页
   ·金刚石的主要性质及其应用第13-18页
     ·力学和热学性质第13-15页
     ·光学和电学性质第15-16页
     ·声学性质第16页
     ·化学性质第16-17页
     ·金刚石的应用第17-18页
   ·CVD 金刚石的生长机理第18-22页
     ·碳的P-T 相图第18-19页
     ·CVD 金刚石的生长过程第19-20页
     ·原子氢(H)的作用第20-22页
   ·掺硼金刚石在电化学方面的应用第22-24页
   ·论文的选题及主要内容第24-26页
第二章 金刚石薄膜的制备及其表征第26-32页
   ·化学气相沉积(CVD)金刚石膜的制备技术简介第26-28页
     ·热丝CVD 法(HFCVD)第26-27页
     ·微波等离子体CVD 法(MPCVD)第27页
     ·直流热阴极PCVD 法(DC-PCVD)第27页
     ·直流等离子体喷射CVD 法(DCjetCVD)第27-28页
   ·CVD 金刚石膜的主要表征方法第28-32页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第29页
     ·拉曼光谱(Raman Spectroscopy)第29-30页
     ·X 射线衍射光谱(XRD)第30-32页
第三章 用MPCVD 法在Ti 衬底上沉积掺硼金刚石薄膜第32-55页
   ·金属钛的性质第32页
   ·实验装置第32-35页
   ·影响金刚石薄膜生长的主要因素第35-37页
     ·碳源浓度第35页
     ·微波功率第35-36页
     ·气体压强第36页
     ·衬底材料第36-37页
     ·衬底预处理第37页
   ·Ti/BDD 薄膜的制备第37-40页
     ·Ti 衬底的预处理第38页
     ·制备工艺参数第38-40页
   ·不同Ti 衬底对掺硼金刚石薄膜的影响第40-45页
     ·不同Ti 衬底表面对BDD 膜的形貌的影响第40-43页
     ·不同Ti 衬底表面下BDD 膜的Raman 光谱第43-45页
   ·甲烷浓度对Ti/BDD 薄膜生长的影响第45-50页
     ·甲烷浓度对BDD 膜的形貌及其品质的影响第45-47页
     ·不同甲烷浓度下BDD 膜的Raman 光谱第47-49页
     ·不同甲烷流量下BDD 膜的XRD第49-50页
   ·掺硼浓度对Ti/BDD 薄膜生长的影响第50-53页
     ·掺硼浓度对BDD 膜的形貌及其品质的影响第50-51页
     ·不同硼浓度下BDD 膜的Raman 光谱第51-53页
     ·不同硼浓度下BDD 膜的XRD第53页
   ·本章小结第53-55页
第四章 金刚石薄膜电极电化学特性第55-69页
   ·金刚石薄膜电极的电化学性质第55-57页
     ·金刚石膜电极的电化学特性第55-57页
     ·金刚石膜电极的氧化性能第57页
   ·利用循环伏安法对金刚石薄膜的研究第57-64页
     ·循环伏安法测试体系简介第57-58页
     ·实验仪器与试剂第58-59页
     ·实验装置及实验过程第59页
     ·Ti/BDD 电极的电化学窗口第59-63页
     ·Ti/BDD 电极在不同温度下的析氧电位第63-64页
   ·不同温度下在Ti/BDD 电极上降解低浓度苯酚实验第64-67页
     ·实验准备第64-65页
     ·实验结果分析第65-67页
   ·本章小结第67-69页
第五章 全文总结第69-71页
参考文献第71-75页
攻读学位期间发表和提交的论文第75-76页
致谢第76页

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