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oBN薄膜的制备及BN膜对生物接种丝的表面改性

中文摘要第1-5页
Abstract第5-10页
第一章 绪论第10-24页
   ·氮化硼的结构与性质第10-17页
     ·立方氮化硼(cBN)的结构与性质第10-12页
     ·正交氮化硼(oBN)的结构与性质第12-14页
     ·其他异构体氮化硼的结构与性质第14-17页
   ·BN 薄膜的制备方法第17-20页
     ·化学气相沉积方法(CVD)第17-18页
     ·物理气相沉积方法(PVD)第18-20页
     ·两种生长方法的比较第20页
   ·影响BN 薄膜沉积的因素第20-21页
   ·BN 的应用第21-23页
   ·本论文的选题背景和研究内容第23-24页
     ·选题背景第23页
     ·研究内容第23-24页
第二章 BN 薄膜沉积系统及表征手段第24-30页
   ·射频磁控溅射原理第24-26页
     ·射频溅射第24-25页
     ·磁控溅射第25-26页
   ·BN 薄膜的表征手段第26-28页
     ·傅立叶变换红外光谱(FTIR)第26-27页
     ·拉曼光谱(Raman)第27-28页
     ·紫外-可见光谱(UV-vis)第28页
   ·BN 薄膜的沉积设备第28-30页
第三章 oBN 薄膜的制备及退火研究第30-47页
   ·氮化硼薄膜的基本制备过程第30-31页
     ·衬底的处理第30页
     ·基本镀膜过程和实验参数第30-31页
   ·沉积时间对制备BN 薄膜的影响第31-33页
   ·衬底温度对制备BN 薄膜的影响第33-35页
   ·射频功率对制备BN 薄膜的影响第35-36页
   ·oBN 薄膜的制备及表征第36-43页
     ·oBN 薄膜的制备第36-37页
     ·oBN 薄膜的红外光谱(FTIR)分析第37-38页
     ·oBN 薄膜的拉曼光谱(Raman)分析第38-39页
     ·oBN 薄膜的扫描电子显微镜(SEM)分析第39-41页
     ·oBN 薄膜的紫外-可见光谱研究第41-43页
   ·oBN 薄膜退火后相转变的研究第43-46页
   ·本章小结第46-47页
第四章 BN 膜涂层对生物接种丝的表面改性第47-55页
   ·合金接种丝预处理及主要实验参数第47-48页
   ·时间对接种丝上沉积BN 膜涂层的影响第48-49页
   ·镀膜前后接种丝的能谱(EDS)分析第49-50页
   ·镀膜后接种丝的红外光谱(FTIR)分析第50-51页
   ·镀膜前后接种丝的光学照片表征第51-52页
   ·镀膜后的接种丝的生物实验和SEM 表征第52-54页
   ·本章小结第54-55页
第五章 全文总结第55-57页
参考文献第57-64页
攻读硕士期间发表的论文和专利第64-65页
致谢第65页

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