| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-27页 |
| ·研究背景 | 第10-14页 |
| ·复杂制造过程与质量控制问题概述 | 第10-13页 |
| ·集成电路硅外延层制造过程 | 第11页 |
| ·注射铸模过程 | 第11-12页 |
| ·热轧过程 | 第12页 |
| ·连铸过程 | 第12-13页 |
| ·复杂制造过程参数控制方法的发展及拓展 | 第13-14页 |
| ·研究意义 | 第14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-23页 |
| ·基于实验设计的健壮参数设计方法研究 | 第15-16页 |
| ·自动过程控制和统计过程控制的整合研究 | 第16-18页 |
| ·谨慎控制理论方法的研究 | 第18-19页 |
| ·自适应控制图的研究 | 第19-21页 |
| ·自动过程控制成本优化的研究 | 第21页 |
| ·过程响应变量的在线观测方法的研究 | 第21-22页 |
| ·文献回顾的小结 | 第22-23页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第23-27页 |
| 第二章 RM-RPC 方法的建模与求解 | 第27-39页 |
| ·RM-RPC 方法模型的建立 | 第27-32页 |
| ·传统APC 方法和RM-RPC 方法的对比 | 第28-29页 |
| ·实验设计中变量的新分类和新效应排序原则 | 第29-31页 |
| ·RM-RPC 方法的统计回归模型以及优化模型的建立 | 第31-32页 |
| ·RM-RPC 优化模型的求解 | 第32-34页 |
| ·实例分析 | 第34-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 基于RM-RPC 方法的谨慎控制策略 | 第39-55页 |
| ·传统RM-RPC 方法模型 | 第39-40页 |
| ·实验设计和模型精度对RM-RPC 方法控制性能的影响 | 第40-43页 |
| ·针对模型系数估计误差的RM-RPC 谨慎控制策略 | 第43-48页 |
| ·考虑模型系数估计误差的谨慎控制策略 | 第43-46页 |
| ·谨慎控制性能的仿真验证 | 第46-48页 |
| ·考虑噪声变量观测误差的谨慎控制律设计 | 第48-52页 |
| ·噪声观测误差的来源和估计 | 第48-49页 |
| ·噪声变量的直接传感器观测 | 第48页 |
| ·噪声变量的间接观测 | 第48-49页 |
| ·考虑噪声观测误差的谨慎控制律设计 | 第49-50页 |
| ·谨慎控制律以及其性能比较 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-55页 |
| 第四章 基于RM-RPC 方法的自适应控制图设计 | 第55-66页 |
| ·自适应控制图设计的必要性分析 | 第55-57页 |
| ·基于RM-RPC 方法的自适应控制图设计 | 第57-61页 |
| ·改善控制图跟踪性能的自适应调节律设计 | 第58-59页 |
| ·降低采样成本的自适应调节律设计 | 第59-61页 |
| ·自适应控制图性能实例分析 | 第61-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 降低调节频次的节约型RM-RPC 方法 | 第66-85页 |
| ·传统RM-RPC 方法模型 | 第66页 |
| ·质量边际与噪声变化的自补偿 | 第66-69页 |
| ·节约型RM-RPC 控制律的设计 | 第69-73页 |
| ·单噪声情况 | 第69-72页 |
| ·多噪声情况 | 第72-73页 |
| ·实例分析 | 第73-83页 |
| ·叶形弹簧热处理过程的仿真分析 | 第73-81页 |
| ·钢铁热轧过程 | 第81-83页 |
| ·本章小结 | 第83-85页 |
| 第六章 基于RM-RPC 方法的非计量型过程响应在线观测及应用 | 第85-110页 |
| ·非计量型过程响应的RM-RPC 建模处理 | 第85-87页 |
| ·连铸过程响应的在线观测 | 第87-103页 |
| ·工程知识驱动的在线Bleeder 自动检测 | 第87-89页 |
| ·高温视觉传感器的数据信息 | 第89-90页 |
| ·Bleeder 在线检测的技术难点 | 第90页 |
| ·EBD 设计过程 | 第90-98页 |
| ·EBD 的应用 | 第98-103页 |
| ·连铸过程的数据降维 | 第103-106页 |
| ·连铸过程的RM-RPC 应用 | 第106-108页 |
| ·本章小结 | 第108-110页 |
| 第七章 总结和展望 | 第110-115页 |
| ·本文总结 | 第110-111页 |
| ·基于回归模型的健壮参数控制方法建模 | 第110页 |
| ·谨慎控制策略的开发 | 第110页 |
| ·基于RM-RPC 方法的自适应控制图的开发 | 第110-111页 |
| ·基于RM-RPC 方法的节约型控制律的开发 | 第111页 |
| ·非计量型过程响应的在线观测方法研究 | 第111页 |
| ·本文的主要贡献与创新点 | 第111-112页 |
| ·研究展望 | 第112-115页 |
| 参考文献 | 第115-126页 |
| 攻读博士学位期间发表或录用的学术论文 | 第126-127页 |
| 致谢 | 第127-128页 |
| 上海交通大学博士学位论文答辩决议书 | 第128-130页 |
