氯化物熔盐去除冶金级硅中杂质硼的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-35页 |
| ·立项背景 | 第10-12页 |
| ·能源与环境问题 | 第10-11页 |
| ·新能源产业的发展 | 第11-12页 |
| ·太阳能级多晶硅材料的制备工艺现状 | 第12-19页 |
| ·传统的太阳能级多晶硅生产工艺 | 第12-16页 |
| ·太阳能级多晶硅新工艺 | 第16-19页 |
| ·化学法与物理法提纯工艺的比较 | 第19页 |
| ·冶金法提纯冶金级硅的主要工艺 | 第19-32页 |
| ·湿法冶金 | 第19-20页 |
| ·定向凝固 | 第20-21页 |
| ·真空蒸发 | 第21-22页 |
| ·合金固化 | 第22页 |
| ·电子束精炼 | 第22-23页 |
| ·氧化精炼 | 第23-32页 |
| ·本课题研究的目的和内容 | 第32-34页 |
| ·本课题的提出依据 | 第32页 |
| ·本课题研究的目的与意义 | 第32-33页 |
| ·本课题研究的内容 | 第33页 |
| ·本课题的创新点 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第二章 氯化物熔盐除硼的理论研究 | 第35-47页 |
| ·冶金级硅中杂质元素 | 第35-37页 |
| ·杂质元素的分类及危害 | 第35-36页 |
| ·杂质元素的分布特性 | 第36页 |
| ·杂质元素硼的来源及存在形式 | 第36-37页 |
| ·氯化物熔盐去除冶金级硅中杂质硼的热力学研究 | 第37-45页 |
| ·氯化物熔盐的选取 | 第37-39页 |
| ·FeCl_3熔盐 | 第39-42页 |
| ·CuCl熔盐 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第三章 实验方法及设计 | 第47-53页 |
| ·实验条件 | 第47页 |
| ·实验原料 | 第47页 |
| ·实验试剂 | 第47页 |
| ·实验设备 | 第47-49页 |
| ·中频电磁感应炉 | 第48页 |
| ·其他的实验设备 | 第48-49页 |
| ·实验工艺流程 | 第49-51页 |
| ·条件实验 | 第51-53页 |
| 第四章 实验结果与讨论 | 第53-72页 |
| ·氯化物熔盐除硼的实验研究 | 第53-63页 |
| ·精炼时间对硼去除的影响 | 第53-58页 |
| ·熔盐与硅质量比对除硼效果的影响 | 第58-62页 |
| ·氯化物熔盐除硼的总结 | 第62-63页 |
| ·熔盐与熔渣混合精炼除硼的实验研究 | 第63-68页 |
| ·不同比例组分对除硼效果的影响 | 第63-65页 |
| ·精炼时间对硼去除效果的影响 | 第65-66页 |
| ·质量比对除硼效果的影响 | 第66-67页 |
| ·熔盐、熔渣及混合精炼剂除硼效果的对比 | 第67-68页 |
| ·精炼前后冶金级硅微观结构的分析 | 第68-69页 |
| ·除硼反应机理 | 第69-72页 |
| 第五章 结论与展望 | 第72-74页 |
| ·结论 | 第72-73页 |
| ·展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 附录 | 第83-85页 |
