| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·纳米科学与技术 | 第9页 |
| ·纳米材料的种类及其物理特性 | 第9-11页 |
| ·纳米材料的种类 | 第9-10页 |
| ·纳米材料的物理特性 | 第10-11页 |
| ·一维 ZnO 和 ZnS 纳米材料的基本性质与研究现状 | 第11-15页 |
| ·ZnO 纳米材料的基本性质 | 第11-12页 |
| ·ZnS 纳米材料的基本性质 | 第12-14页 |
| ·一维 ZnO 和 ZnS 纳米材料的研究现状 | 第14-15页 |
| ·本论文的主要工作 | 第15-16页 |
| 第2章 一维 ZnO 和 ZnS 半导体纳米材料的制备及表征 | 第16-28页 |
| ·ZnO 和 ZnS 纳米带的制备 | 第16-18页 |
| ·热蒸发法制备 ZnO 纳米带 | 第16-17页 |
| ·热蒸发法制备 ZnS 纳米带 | 第17-18页 |
| ·化学气相沉积法制备 ZnO 纳米线阵列 | 第18-20页 |
| ·ZnO 纳米线阵列的制备装置 | 第18-19页 |
| ·ZnO 纳米线阵列的制备流程 | 第19页 |
| ·ZnO 纳米线阵列的生长机制 | 第19-20页 |
| ·ZnO 和 ZnS 一维半导体纳米材料的表征 | 第20-27页 |
| ·一维半导体纳米材料的测试分析设备 | 第20-23页 |
| ·ZnO 纳米带形貌和结构的表征 | 第23-24页 |
| ·ZnS 纳米带形貌和结构的表征 | 第24-26页 |
| ·ZnO 纳米线阵列形貌和结构的表征 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 基于 ZnO/ZnS 纳米带膜的真空压强传感器 | 第28-40页 |
| ·基于 ZnO/ZnS 纳米带膜的真空压强传感器的制备 | 第28-31页 |
| ·叉指电极的制作 | 第28-29页 |
| ·基于 ZnO/ZnS 纳米带膜的真空压强传感器的制备 | 第29-30页 |
| ·基于 ZnO/ZnS 纳米带膜的真空压强传感器的表征 | 第30-31页 |
| ·真空压强传感器的测试装置及测试方案 | 第31-34页 |
| ·真空压强传感器的测试装置 | 第31-33页 |
| ·真空压强传感器 I-V 特性的测试 | 第33页 |
| ·真空压强传感器 I-t 特性的测试 | 第33-34页 |
| ·基于 ZnO 纳米带膜的真空压强传感器的敏感特性 | 第34-36页 |
| ·I-V 特性曲线 | 第34-35页 |
| ·R-P 特性曲线 | 第35-36页 |
| ·I-t 特性曲线 | 第36页 |
| ·基于 ZnS 纳米带膜的真空压强传感器的敏感特性 | 第36-39页 |
| ·I-V 特性曲线 | 第36-37页 |
| ·R-P 特性曲线 | 第37-38页 |
| ·I-t 特性曲线 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 基于 ZnO 纳米线阵列的真空压强传感器 | 第40-49页 |
| ·基于 ZnO 纳米线阵列的真空压强传感器的制备 | 第40-42页 |
| ·聚合物的填充和刻蚀 | 第40-41页 |
| ·掩膜及镀顶电极 | 第41页 |
| ·聚合物的溶解 | 第41-42页 |
| ·基于 ZnO 纳米线阵列的真空压强传感器的敏感特性 | 第42-46页 |
| ·I-V 特性曲线 | 第42-43页 |
| ·R-P 特性曲线 | 第43-44页 |
| ·功耗特性曲线 | 第44-45页 |
| ·I-t 特性曲线 | 第45-46页 |
| ·基于 ZnO/ZnS 纳米材料的真空压强传感器的敏感特性机理解释 | 第46-47页 |
| ·比表面积 | 第46页 |
| ·氧吸附与解吸附 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第5章 总结与展望 | 第49-51页 |
| ·总结 | 第49-50页 |
| ·展望 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 攻读学位期间发表的论文和成果 | 第56页 |
