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MOCVD制备GaSb/GaAs自组织量子点的形貌特性研究

内容提要第1-7页
第1章 绪论第7-21页
   ·半导体量子点理论第7-14页
     ·半导体量子点物理理论第7-10页
     ·半导体量子点生长理论第10-14页
   ·锑化镓半导体量子点的研究背景和意义第14-17页
   ·锑化镓量子点及其研究现状第17-20页
     ·锑化镓材料的基本性质第17-18页
     ·锑化镓量子点的研究现状第18-20页
   ·本文主要研究内容第20-21页
第2章 MOCVD 技术与实验表征技术第21-31页
   ·MOCVD 技术第21-28页
     ·MOCVD 技术的发展和应用第21-23页
     ·MOCVD 技术原理和设备介绍第23-26页
     ·GaSb/GaAs 量子点的 MOCVD 生长第26-28页
   ·量子点形貌表征手段第28-31页
     ·原子力显微镜(AFM)原理第28-30页
     ·原子力扫描图像分辨率第30-31页
第3章 MOCVD 生长参数对 GaSb/GaAs 量子点形貌的影响第31-46页
   ·生长温度对 GaSb/GaAs 量子点形貌的影响第32-38页
   ·反应室压强对 GaSb/GaAs 量子点形貌的影响第38-41页
   ·气相Ⅴ/Ⅲ比对 GaSb/GaAs 量子点形貌的影响第41-44页
   ·本章小结第44-46页
第4章 生长过程对 GaSb/GaAs 量子点形貌的影响第46-58页
   ·快速生长时间对 GaSb/GaAs 量子点形貌的影响第46-50页
   ·中断时间对 GaSb/GaAs 量子点形貌的影响第50-52页
   ·循环次数对 GaSb/GaAs 量子点形貌的影响第52-56页
   ·本章小结第56-58页
第5章 结论第58-61页
参考文献第61-66页
致谢第66-67页
中文摘要第67-69页
Abstract第69-70页

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