| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| ·薄膜沉积技术 | 第12-13页 |
| ·物理气相沉积简介 | 第12-13页 |
| ·化学气相沉积简介 | 第13页 |
| ·物理气相沉积 | 第13-15页 |
| ·物理气相沉积的特点 | 第13页 |
| ·物理气相沉积的分类 | 第13-15页 |
| ·PVD 技术的发展现状 | 第15页 |
| ·类金刚石薄膜（DLC） | 第15-18页 |
| ·DLC 膜简介 | 第15-16页 |
| ·DLC 膜研究现状 | 第16页 |
| ·DLC 薄膜的摩擦学性能和抗腐蚀性能 | 第16-17页 |
| ·DLC 薄膜的掺杂改性 | 第17-18页 |
| ·TiN 薄膜 | 第18-19页 |
| ·TiN 薄膜简介 | 第18页 |
| ·TiN 膜研究现状 | 第18-19页 |
| ·TiN 薄膜的掺杂改性 | 第19页 |
| ·TiN 薄膜和 DLC 薄膜的对比和结合 | 第19-20页 |
| ·两种薄膜的对比 | 第19-20页 |
| ·两种薄膜的结合 | 第20页 |
| ·本文的立题依据和主要工作 | 第20-22页 |
| ·本文的立题依据 | 第20-21页 |
| ·本文的主要工作 | 第21-22页 |
| 第二章 实验方法 | 第22-32页 |
| ·实验方案 | 第22页 |
| ·实验材料 | 第22-23页 |
| ·薄膜沉积实验材料 | 第22-23页 |
| ·水润滑对磨实验材料 | 第23页 |
| ·电化学实验材料 | 第23页 |
| ·薄膜制备 | 第23-24页 |
| ·TiN 膜的制备 | 第23-24页 |
| ·Ti-DLC 膜和 TiCN 薄膜的制备 | 第24页 |
| ·水润滑摩擦实验 | 第24-25页 |
| ·实验相关仪器 | 第25-29页 |
| ·实验数据处理相关仪器介绍 | 第25-29页 |
| ·实验结果处理 | 第29-31页 |
| ·薄膜的表征 | 第29页 |
| ·水润滑实验结果处理 | 第29页 |
| ·对磨小球磨损体积计算方法 | 第29-30页 |
| ·盘磨损体积计算方法 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 Ti/TiN 薄膜的制备 | 第32-45页 |
| ·薄膜过渡层 | 第32-33页 |
| ·过渡层的选择 | 第32页 |
| ·过渡层的参数 | 第32-33页 |
| ·TiN 薄膜参数探索 | 第33-41页 |
| ·TiN 薄膜硬度的测量 | 第34-36页 |
| ·TiN 薄膜膜面结合力的测量 | 第36-38页 |
| ·TiN 薄膜表面粗糙度的测量 | 第38-40页 |
| ·TiN 薄膜参数的选择和后续实验 | 第40-41页 |
| ·Ti/TiN 薄膜制备实验分析 | 第41-42页 |
| ·Ti/TiN 薄膜制备实验时出现的问题 | 第41页 |
| ·Ti/TiN 薄膜制备实验时出现问题的原因分析和解决方法 | 第41-42页 |
| ·TiN 薄膜的水润滑性能研究 | 第42-43页 |
| ·TiN 薄膜与 Ti/TiN 薄膜的水润滑性能比较 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 TiCN 薄膜的水润滑摩擦学特性研究 | 第45-57页 |
| ·TiCN 薄膜的表面形貌 | 第45-46页 |
| ·不同基底下 TiCN 薄膜与 Si_3N_4小球对磨水润滑性能研究 | 第46-52页 |
| ·不同基底下薄膜与小球对磨的水润滑摩擦系数 | 第46-47页 |
| ·不同基底四种载荷下薄膜与小球对磨的磨损率 | 第47-48页 |
| ·不同基底下薄膜与小球磨损面分析 | 第48-51页 |
| ·不同基底四种载荷下 TiCN 薄膜与 Si_3N_4小球对磨的摩擦磨损分析 | 第51-52页 |
| ·不同速度时 TiCN 薄膜与 Si_3N_4小球对磨水润滑性能研究 | 第52-55页 |
| ·不同速度下薄膜与小球对磨的摩擦系数 | 第52-53页 |
| ·不同速度下薄膜与小球对磨的磨损率 | 第53页 |
| ·不同速度下薄膜与小球磨损面分析 | 第53-55页 |
| ·不同速度下 TiCN 薄膜对磨 Si_3N_4小球摩擦磨损分析 | 第55页 |
| ·TiCN 薄膜电腐蚀性能研究 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 Ti-DLC 薄膜的水润滑摩擦学特性研究 | 第57-75页 |
| ·Ti-DLC 薄膜的表面形貌 | 第57-58页 |
| ·不同载荷下 Ti-DLC 薄膜与 Si_3N_4小球对磨水润滑性能研究 | 第58-64页 |
| ·不同载荷下薄膜与小球对磨的水润滑摩擦系数 | 第58-59页 |
| ·不同基底四种载荷下薄膜与小球对磨时的磨损率 | 第59-60页 |
| ·不同基底四种载荷下薄膜与小球磨损面分析 | 第60-63页 |
| ·不同基底四种载荷下 Ti-DLC 薄膜与 Si_3N_4小球对磨的摩擦磨损分析 | 第63-64页 |
| ·不同速度时 Ti-DLC 薄膜与 Si_3N_4小球对磨水润滑性能研究 | 第64-73页 |
| ·不同速度下薄膜与小球对磨的摩擦系数 | 第64-65页 |
| ·不同速度下 Ti-DLC 薄膜与 Si_3N_4小球对磨的磨损率 | 第65-66页 |
| ·不同速度下薄膜与小球对磨面分析 | 第66-73页 |
| ·薄膜在去离子水中的 Stribeck 曲线 | 第73页 |
| ·不同速度下 Ti-DLC 薄膜与 Si_3N_4小球对磨摩擦磨损分析 | 第73页 |
| ·Ti-DLC 薄膜电腐蚀性能研究 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第六章 总结与展望 | 第75-77页 |
| ·总结 | 第75-76页 |
| ·展望 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 在校期间的研究成果及发表的学术论文 | 第82页 |
