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MOSFET的强电磁脉冲损伤效应研究

摘要第1-4页
Abstract第4-7页
第一章 绪论第7-13页
   ·研究背景及意义第7-9页
   ·国内外研究现状第9-10页
   ·论文方法和主要研究内容第10-13页
第二章 HPM 和 EMP 对器件作用机理分析第13-27页
   ·HPM 和 EMP 对电子器件的作用途径第13-14页
   ·HPM 和 EMP 破坏电子设备性能的物理基础第14-15页
   ·HPM 和 EMP 损伤的物理机理第15-17页
   ·典型器件主要失效机理分析第17-19页
     ·金属氧化物半导体器件第17-18页
     ·结型半导体第18-19页
     ·GaAs FET 器件第19页
   ·MOS 晶体管热分析第19-24页
     ·电热模型所用的半导体基本方程及热流方程第19-21页
     ·边界条件第21-22页
     ·MOS 器件等效热路第22-23页
     ·晶格温度与时间之间的关系第23-24页
   ·电子电气系统对高功率微波及电磁脉冲防护的特殊考虑第24-25页
   ·本章总结第25-27页
第三章 MOSFET 的 EMP 瞬态响应第27-45页
   ·工艺及器件仿真工具 ISE-TCAD第27-30页
     ·器件生成工具 MDRAW第28页
     ·器件仿真工具 DESSIS第28-29页
     ·设计流程第29-30页
   ·模型参数的选取第30-35页
     ·带隙和电子亲和能模型第30-32页
     ·Shockley-Reed-Hall(SRH)复合模型第32-34页
     ·Auger 复合模型第34-35页
   ·器件模型第35-38页
     ·器件结构与杂质分布第35-36页
     ·器件特性验证第36-38页
   ·EMP 作用下 MOSFET 的二维瞬态电热仿真第38-44页
     ·电场强度分布情况第39-40页
     ·电流密度分布情况第40-42页
     ·温度分布随时间的变化情况第42-44页
   ·本章小结第44-45页
第四章 MOSFET 的 HPM 瞬态响应第45-57页
   ·重复脉冲作用下器件失效模型第45-47页
     ·温度弛豫时间的简单定义第45-46页
     ·多脉冲作用下的温度公式第46-47页
     ·热缓慢击穿现象第47页
   ·HPM 作用下 MOSFET 的二维瞬态电热仿真第47-54页
     ·正半周期器件内部变化情况第48-51页
     ·负半周期器件内部变化情况第51-53页
     ·烧毁时间与注入电压之间的关系第53页
     ·烧毁时间和能量与脉冲频率的关系第53-54页
   ·MOSFET 抗 HPM 加固第54-56页
   ·本章总结第56-57页
第五章 MOSFET 的损伤阈值分析第57-65页
   ·脉宽与脉冲功率和能量的函数关系第57-59页
   ·仿真及结果分析第59-64页
     ·损伤功率阈值与 HPM 和 EMP 脉冲时间的关系第59-62页
     ·损伤能量阈值与 HPM 脉冲时间的关系第62-64页
   ·本章总结第64-65页
第六章 总结与展望第65-67页
   ·总结第65-66页
   ·展望第66-67页
致谢第67-69页
参考文献第69-75页
硕士期间成果第75-76页

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