150A/1200V快速软恢复功率二极管的设计与试制
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-11页 |
| ·课题研究的背景 | 第7-8页 |
| ·功率快速软恢复二极管的研究现状 | 第8-9页 |
| ·国外现状 | 第8页 |
| ·国内现状 | 第8-9页 |
| ·本课题的意义和主要内容 | 第9-11页 |
| 2 PIN快恢复二极管理论 | 第11-21页 |
| ·功率PIN二极管基本结构 | 第11页 |
| ·PIN二极管的工作原理 | 第11-15页 |
| ·开通特性 | 第12-13页 |
| ·关断特性 | 第13-15页 |
| ·功率PIN二极管的主要性能参数 | 第15-19页 |
| ·正向压降 | 第15-16页 |
| ·反向击穿电压 | 第16页 |
| ·反向漏电流 | 第16-17页 |
| ·反向恢复时间 | 第17-18页 |
| ·反向恢复软度因子 | 第18-19页 |
| ·功率PIN二极管的性能要求 | 第19-21页 |
| 3 PIN二极管主要参数的设计及优化 | 第21-37页 |
| ·设计指标 | 第21页 |
| ·器件结构设计 | 第21-25页 |
| ·器件结构 | 第21-22页 |
| ·主结结构设计 | 第22-23页 |
| ·场限环的设计 | 第23-25页 |
| ·参数模拟分析与优化 | 第25-37页 |
| ·反向耐压 | 第25-29页 |
| ·正向压降 | 第29-30页 |
| ·反向漏电流 | 第30-31页 |
| ·反向恢复时间 | 第31-37页 |
| 4 PIN快恢复二极管工艺分析及样品试制 | 第37-51页 |
| ·光刻板图设计 | 第37-40页 |
| ·工艺分析 | 第40-46页 |
| ·寿命控制技术 | 第46-51页 |
| 5 样品的测试分析 | 第51-57页 |
| ·材料参数 | 第51页 |
| ·表面浓度测试 | 第51-52页 |
| ·结深测试 | 第52-53页 |
| ·反向耐压 | 第53-54页 |
| ·正向压降 | 第54-55页 |
| ·反向漏电流 | 第55页 |
| ·反向恢复时间 | 第55-57页 |
| 6 总结 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-62页 |
